检索结果分析
- 一种硅基MEMS闪耀光栅的制备方法
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申请号：CN201910357433.5
申请日：20190429
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明涉及一种硅基MEMS闪耀光栅的制备方法,属于半导体加工技术领域,基于单晶硅的各向异性湿法腐蚀特性,通过将N型(111)硅片按特定切偏角(即闪耀角)进行切割,采用两次光刻腐蚀的方法,利用硅的慢腐蚀面(111)面相交形...
- 一种压电非均匀折叠梁驱动的MOEMS扫描光栅微镜
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申请号：CN201810616840.9
申请日：20180615
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：一种压电非均匀折叠梁驱动的MOEMS扫描光栅微镜,由光栅、微镜、扭转梁、压电非均匀折叠梁微驱动器、角传感器和固定框架组成。微镜通过扭转梁悬置于固定框架上使其绕扭转梁转动而限制其他方向的平动,并结合在微镜背部掏蚀凹槽,提高...
- 集成差分式角传感器的扫描微镜
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申请号：CN201810403477.2
申请日：20180428
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开了一种集成差分式角传感器的电磁驱动式扫描微镜,包括集成了电磁驱动器与角传感器的芯片和紧贴在其上面的硅基MEMS反射镜面。所述芯片由中心镜板、扭转梁和支撑框架构成。为了克服传统硅基MEMS扫描微镜镜面尺寸小和低频...
- MOEMS扫描光栅微镜控制系统
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申请号：CN201810049844.3
申请日：20180118
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明提出一种MOEMS扫描光栅微镜的控制系统。它主要由传感器信号获取模块、数字信号处理闭环控制模块、微镜驱动模块组成，通过数字式控制方法实现对MOEMS扫描光栅微镜的闭环控制，基于FPGA开发放大器自适应控制调节、微镜...
- 一种扫描光栅微镜近红外光谱仪的工作电路
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申请号：CN201810050396.9
申请日：20180118
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明提出一种基于扫描光栅微镜近红外光谱仪的工作电路，包括电源管理电路和光谱仪控制电路。其中光谱仪控制电路包括至少两路用于光谱信号采集的PGA和ADC通道，一路用于角度传感采集的PGA经滤波器及ADC通道，用于扫描光栅微...
- 压电式集成MOEMS扫描光栅微镜
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申请号：CN201710687362.6
申请日：20170811
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开一种压电式集成MOEMS扫描光栅微镜，涉及光谱分析和微光机电系统领域，由集成扫描光栅微镜、扭转梁、连接梁、角传感器、压电微驱动器和固定框架组成。所提出的集成扫描光栅微镜是基于偏晶向(111)硅基，在正面集成了闪...
- 基于RFID的地下车库智能定位及动态显示系统及方法
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申请号：CN201710303109.6
申请日：20170503
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开了一种基于RFID的地下车库智能定位及动态显示系统及方法，包括电子标签、阅读器、后台服务器和移动终端；电子标签放置于车辆内；阅读器安装在车库内；后台服务器内存储有车库电子地图，该车库电子地图中标识有车库内所有车...
- 一种压电-摩擦电复合式宽频带微型能量收集器
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申请号：CN201710108046.9
申请日：20170227
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开一种压电?摩擦电复合式宽频带微型能量收集器，包括压电振动能量收集器主结构和摩擦电能量收集单元；压电振动能量收集器主结构包括硅固定基座、多个梯形压电悬臂梁构成的共质量块压电悬臂梁阵列及质量块；摩擦电能量收集单元包...
- 用于油气在线检测的微型近红外光谱分析系统
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申请号：CN201611117783.7
申请日：20161207
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：用于油气在线检测的微型近红外光谱分析系统，包括：前端信号光获取单元、分光成像光学单元、下位机信号采集与传输单元和上位机光谱处理与显示单元。首先，光源发出的光通过准直镜后，平行入射至样品池，透射后光变为携带样品光谱信息的信...
- 一种全谱段800nm#2500nm的双探测器微型近红外光谱仪
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申请号：CN201611037044.7
申请日：20161123
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明提出了一种全谱段800nm#2500nm的双探测器微型近红外光谱仪,它是由近红外光源、入射狭缝、凹面准直镜、MOEMS扫描光栅微镜、凹面成像镜、出射狭缝、响应波长范围不同的单管近红外双探测器组成。本发明设计的改进型...
- MOEMS扫描光栅微镜系统
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申请号：CN201510904374.0
申请日：20151209
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：一种MOEMS扫描光栅微镜系统，包括MOEMS扫描光栅微镜和后端闭环控制电路两部分。MOEMS扫描光栅微镜采用正方形设计，主要由扫描光栅、扭转梁、固定边框、电磁式驱动器和磁电式角度传感器通过MEMS加工技术一体化三维集成...
- 集成角度传感器的高衍射效率MEMS扫描光栅
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申请号：CN201510805579.3
申请日：20151120
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明提出一种集成角度传感器的高衍射效率MEMS扫描光栅。它由光栅面、电磁驱动线圈、电磁传感线圈、扭转梁和支撑框架组成。所述光栅面、电磁驱动线圈、电磁传感线圈、扭转梁和支撑框架均制作在同一片偏晶向的(111)硅基底上。光...
- 一种低g值微机械加速度锁存开关
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申请号：CN201510771891.5
申请日：20151112
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开一种低g值微机械加速度锁存开关，包括一绝缘衬底，一检测质量块，多个相对于绝缘衬底X轴和Y轴均对称分布的锚点、触头、触头支撑梁、检测质量块支撑梁及过载保护结构。本发明所述微机械开关的动触头采用半球形与楔形复合结构...
- 一种低g值微机械加速度锁存开关
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申请号：CN201510771891.5
申请日：20151112
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开一种低g值微机械加速度锁存开关，包括一绝缘衬底，一检测质量块，多个相对于绝缘衬底X轴和Y轴均对称分布的锚点、触头、触头支撑梁、检测质量块支撑梁及过载保护结构。本发明所述微机械开关的动触头采用半球形与楔形复合结构...
- MEMS圆片级真空封装结构及方法
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申请号：CN201510278031.8
申请日：20150527
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开了一种MEMS圆片级真空封装结构及方法，所述封装结构包括绝缘衬底、MEMS芯片结构层和盖板，三者通过圆片级键合方式连接成一体，形成真空腔室。本发明在第一键合环中心设计有不完全闭合的第二键合环，同时利用阳极键合与...
- MEMS圆片级真空封装结构及方法
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申请号：CN201510278031.8
申请日：20150527
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开了一种MEMS圆片级真空封装结构及方法，所述封装结构包括绝缘衬底、MEMS芯片结构层和盖板，三者通过圆片级键合方式连接成一体，形成真空腔室。本发明在第一键合环中心设计有不完全闭合的第二键合环，同时利用阳极键合与...
- 一种微机械横向振动加速度开关
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申请号：CN201310614546.1
申请日：20131128
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明提供一种微机械水平横向振动加速度开关，涉及微机电系统领域，由绝缘衬底、锚点、凸台型结构、触头、折叠梁和检测质量块组成。所述锚点位于检测质量块的水平纵向方向两侧，固定于绝缘衬底上，通过折叠梁与检测质量块连接，使折叠梁...
- 一种微机械横向振动加速度开关
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申请号：CN201310614546.1
申请日：20131128
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明提供一种微机械水平横向振动加速度开关，涉及微机电系统领域，由绝缘衬底、锚点、凸台型结构、触头、折叠梁和检测质量块组成。所述锚点位于检测质量块的水平纵向方向两侧，固定于绝缘衬底上，通过折叠梁与检测质量块连接，使折叠梁...
- 基于PZT压电梁阵列的MEMS振动能量收集器
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申请号：CN201310281135.5
申请日：20130705
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明提出一种基于PZT压电梁阵列的MEMS振动能量收集器，该器件由多个PZT压电梁、一个质量块和外框组成。每个PZT压电梁包括硅基底、下电极、PZT压电膜和上电极。这些压电梁的一端固定在外框上，另一端共用一个质量块，压...
- 微型生化检测仪样品检测系统
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申请号：CN201310026369.5
申请日：20130124
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明涉及一种微型生化检测仪型样品检测系统，该检测系统包括光学系统，光谱扫描系统，温度控制系统。该检测系统由嵌入式ARM9?S3C2410适时控制，使光学系统、光谱扫描系统、温度控制系统协调配合快速适时检测生化指标。本发...
- 微型生化检测仪样品检测系统
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申请号：CN201310026369.5
申请日：20130124
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明涉及一种微型生化检测仪型样品检测系统，该检测系统包括光学系统，光谱扫描系统，温度控制系统。该检测系统由嵌入式ARM9S3C2410适时控制，使光学系统、光谱扫描系统、温度控制系统协调配合快速适时检测生化指标。本发明...
- 宽频带微型压电振动能量收集器及其制作方法
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申请号：CN201210459561.9
申请日：20121115
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开了一种宽频带微型压电振动能量收集器及其制作方法，包括固定支架、质量块和悬臂梁阵列；悬臂梁阵列设置有压电层并设置于固定支架上，质量块设置于悬臂梁阵列上；质量块位于固定支架中央；悬臂梁阵列包括多个悬臂梁组，悬臂梁组...
- 宽频带微型压电振动能量收集器及其制作方法
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申请号：CN201210459561.9
申请日：20121115
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开了一种宽频带微型压电振动能量收集器及其制作方法，包括固定支架、质量块和悬臂梁阵列；悬臂梁阵列设置有压电层并设置于固定支架上，质量块设置于悬臂梁阵列上；质量块位于固定支架中央；悬臂梁阵列包括多个悬臂梁组，悬臂梁组...
- 基于MOEMS工艺集成角度传感器的微扫描光栅
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申请号：CN201210199315.4
申请日：20120615
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明提出的一种高衍射效率、集成压阻角度传感器、电磁驱动的基于MOEMS工艺的扫描微光栅,它由电磁驱动单元,压阻角度传感器单元,光栅衍射面单元,支撑梁单元四部分构成。它采用不同于其他扫描光栅驱动结构,实现偏转角的主动监测...
- 双极型电磁式扫描微镜
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申请号：CN201210170261.9
申请日：20120529
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开了一种双极型电磁式扫描微镜，是以硅基材料为衬底，采用MEMS工艺，加工出含有微反射镜面2、双极型电磁微驱动器4、扭转梁1、角度传感器3、双极型电磁微驱动器线圈连接极5以及支撑框架6的双极型电磁式扫描微镜。本发明...
- 一种MEMS扫描微镜光谱仪工作电路
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申请号：CN201210079028.X
申请日：20120323
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公布一种MEMS（微电子机械系统）扫描微镜光谱仪工作电路。它主要由振荡信号模块，MEMS微镜驱动控制模块，光谱数据采集模块三个模块组成，其中，光谱数据采集模块由前置放大电路、AD转换电路、FIFO存储器、FPGA（...
- 基于声光效应的MEMS微型加速度传感器
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申请号：CN201110350814.4
申请日：20111109
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：基于声光效应的MEMS微型加速度传感器包括激光器、光波导系统、基于板波的声光移频器、光电探测器，其中光波导系统包括单模矩形光波导、锥形光波导、波导偏振器和波导反射镜。将光波导系统、基于板波的声光移频器通过MEMS微加工技...
- 一种基于MEMS扫描微镜的高分辨率微型红外光谱仪
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申请号：CN201110279802.7
申请日：20110920
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公布一种基于MEMS（微电子机械系统）扫描微镜的微型化红外光谱仪，它是由光纤连接装置，入射狭缝，准直反射镜，扫描微镜，闪耀光栅，球面聚焦反射镜，出射狭缝，高灵敏度单元红外探测器组成。它采用一种新的光路结构：外部待测...
- 一种微机械加速度开关
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申请号：CN201110188259.X
申请日：20110706
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明提供了一种微机械加速度开关，涉及微机电系统领域，所述微机械加速度开关包括：绝缘衬底、信号传输线、质量块、折叠梁、触点、锚区和过载保护结构。信号传输线固定在绝缘衬底上，位于质量块上方；锚区固定在绝缘衬底上，位于质量块...
- 一种连续光谱光源
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申请号：CN201110177247.7
申请日：20110628
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明涉及一种连续光谱光源，包括稳压电源、光源、光纤光源组、光纤耦合透镜组和输出光纤。光纤光源组由N个覆盖不同波长范围的光谱通道构成，每个光谱通道包括依次设置的准直透镜、带通滤光片、耦合透镜和光纤。光源的光能经过准直透镜...