宽频带微型压电振动能量收集器及其制作方法
专利类型：发明专利
语 言：中文
申 请 号：CN201210459561.9
申 请 日：20121115
申 请 人：重庆大学
申请人地址：400044 重庆市沙坪坝区沙正街174号
公 开 日：20150506
公 开 号：CN102931340B
代 理 人：赵荣之
代理机构：北京同恒源知识产权代理有限公司 11275
摘 要：本发明公开了一种宽频带微型压电振动能量收集器及其制作方法，包括固定支架、质量块和悬臂梁阵列；悬臂梁阵列设置有压电层并设置于固定支架上，质量块设置于悬臂梁阵列上；质量块位于固定支架中央；悬臂梁阵列包括多个悬臂梁组，悬臂梁组连接于质量快和固定支架之间，固定支架上设置有上电极和下电极，上电极、下电极分别与悬臂梁组连接，悬臂梁阵列呈对称分布状态。本发明提出的多组不同尺寸的悬臂梁阵列，其固有频率不相同，从而使得所述微型压电振动式能量收集器具有较宽的频带宽度；组内的悬臂梁具有相同的尺寸，具有相同的固有频率，使得所述微型压电振动式能量收集器可根据负载情况实现不同悬臂梁所构成的发电机之间的并联或串联连接结构。
主 权 项：宽频带微型压电振动能量收集器，其特征在于：包括固定支架、质量块和悬臂梁阵列；所述悬臂梁阵列设置有压电层，所述悬臂梁阵列设置于固定支架上，所述质量块设置于悬臂梁阵列上；所述质量块位于固定支架中央；所述悬臂梁阵列包括多个悬臂梁组，所述悬臂梁组一端与质量块连接，另一端与固定支架连接，所述固定支架上设置有上电极和下电极，所述上电极、下电极分别与悬臂梁组连接；所述上电极、压电层和下电极呈三明治结构，压电层作为功能层薄膜夹在上、下电极之间；所述悬臂梁阵列呈对称分布状态；所述悬臂梁组为尺寸不同的悬臂梁，同一组的悬臂梁组内的悬臂梁为相同的尺寸悬臂梁；具有相同尺寸的悬臂梁在谐振点处通过电极串联或并联的级联方式连接。
关 键 词：
法律状态：公开
IPC专利分类号：H01L41/113(2006.01)I;H01L41/277(2013.01)I;H02N2/18(2006.01)I