一种全谱段800nm#2500nm的双探测器微型近红外光谱仪
专利类型：发明专利
语 言：中文
申 请 号：CN201611037044.7
申 请 日：20161123
申 请 人：重庆大学
申请人地址：400030 重庆市沙坪坝区沙正街174号
公 开 日：20170215
公 开 号：CN106404713A
代 理 人：康海燕
代理机构：重庆华科专利事务所 50123
摘 要：本发明提出了一种全谱段800nm#2500nm的双探测器微型近红外光谱仪,它是由近红外光源、入射狭缝、凹面准直镜、MOEMS扫描光栅微镜、凹面成像镜、出射狭缝、响应波长范围不同的单管近红外双探测器组成。本发明设计的改进型Czerny#Turner光路系统,有效抑制了像差,确保了系统成像质量。本发明采用集成角度传感器的MOEMS扫描光栅微镜,兼具宽波段范围内扫描与分光功能,同时能够实时精确控制扫描角度,实现了单管近红外双探测器的不同波长连续精确探测。本发明具有价格低、体积小、响应快、精度高、探测光谱范围宽等优点。
主 权 项：一种全谱段800nm#2500nm的双探测器微型近红外光谱仪,其特征在于：所述光谱仪的光路系统包括近红外光源(1)、入射狭缝(2)、凹面准直镜(3)、MOEMS扫描光栅微镜(4)、凹面成像镜(5)、出射狭缝(6)、两个响应波长范围不同的单管近红外探测器；采用改进型Czerny#Turner结构的光路系统,以MOEMS扫描光栅微镜(4)为光轴沿左右两侧非对称设置口径分别为12.7mm和50.7mm的凹面准直镜(3)和凹面成像镜(5),两者的焦距均为50mm、曲率半径均为100mm,两者的质心到光轴的垂轴距离分别为16.5mm和19.5mm,离轴角度分别为#10o和5o,MOEMS扫描光栅微镜转动角度为±6.5o,光路系统设置两个出射狭缝(6),在出射狭缝(6)分别安装一个波长响应范围不同的单管近红外探测器,在确保全谱段800nm#2500nm光谱分辨率在15nm内的基础上,实现近红外全谱段的连续扫描分光与探测；所述近红外光源(1)经50μm缝宽的入射狭缝(2)进入凹面准直镜(3),经凹面准直镜(3)反射成平行光后进入MOEMS扫描光栅微镜(4),经MOEMS扫描光栅微镜(4)分光后进入凹面成像镜(5),并经凹面成像镜(5)聚焦成像后进入80μm缝宽的出射狭缝(6),由两个波长响应范围不同的单管近红外探测器探测,通过MOEMS扫描光栅微镜(4)扫描分光实现不同波长的单色光在两个单管近红外探测器上的连续探测。
关 键 词：
法律状态：
IPC专利分类号：G01N21/359