一种微机械加速度开关

专利类型：发明专利 

语 言：中文 

申 请 号：CN201110188259.X 

申 请 日：20110706 

发 明 人：傅剑宇温志渝陈李李东玲尚正国 

申 请 人：重庆大学 

申请人地址：400030 重庆市沙坪坝区沙正街174号 

公 开 日：20131218 

公 开 号：CN102254741B 

代 理 人：康海燕 

代理机构：重庆华科专利事务所 50123 

摘　　要：本发明提供了一种微机械加速度开关，涉及微机电系统领域，所述微机械加速度开关包括：绝缘衬底、信号传输线、质量块、折叠梁、触点、锚区和过载保护结构。信号传输线固定在绝缘衬底上，位于质量块上方；锚区固定在绝缘衬底上，位于质量块周围；过载保护结构固定在绝缘衬底上，位于质量块顶角处；折叠梁位于质量块四周，其两端分别与质量块和锚区相连，并与质量块一起被悬空；触点固定在质量块正中，位于两根信号传输线端头的正下方，并与之有间隙。本发明可有效改善开关的接触性能，提高开关的抗冲击性能，结构简单、制作容易，可广泛应用在微机电系统领域。 

主 权 项：一种微机械加速度开关，包括有绝缘衬底、以及在绝缘衬底上微加工形成的信号传输线、质量块、折叠梁、触点、锚区和过载保护结构；其特征在于：所述质量块悬空于绝缘衬底上；所述信号传输线有两根，固定在绝缘衬底上，两根信号传输线的端头不接触，并位于质量块上方；所述锚区固定在绝缘衬底上，分布于质量块周围，并分别通过悬空的折叠梁与质量块进行连接；所述过载保护结构固定在绝缘衬底上，分布于质量块顶角处，并位于锚区内侧，靠近质量块，并与之留有间距；所述触点固定在质量块正中，位于两根信号传输线端头的正下方，并与之有间隙。 

关 键 词： 

法律状态：公开 

IPC专利分类号：H01H35/14