一种基于MEMS扫描微镜的高分辨率微型红外光谱仪
专利类型：发明专利
语 言：中文
申 请 号：CN201110279802.7
申 请 日：20110920
申 请 人：重庆大学
申请人地址：400030 重庆市沙坪坝区沙正街174号
公 开 日：20120222
公 开 号：CN102359949A
代 理 人：康海燕
代理机构：重庆华科专利事务所 50123
摘 要：本发明公布一种基于MEMS（微电子机械系统）扫描微镜的微型化红外光谱仪，它是由光纤连接装置，入射狭缝，准直反射镜，扫描微镜，闪耀光栅，球面聚焦反射镜，出射狭缝，高灵敏度单元红外探测器组成。它采用一种新的光路结构：外部待测光信号通过光纤、狭缝耦合进光谱仪，并经球面准直反射镜准直后，利用MEMS扫描微镜和衍射光栅代替传统扫描光栅光谱仪中的扫描光栅，联合实现光学分光及光谱扫描功能，在微镜镜面扭摆过程中，两个球面反射镜组合对光谱进行聚焦成像，使不同波长的光聚焦成像后依次通过出射狭缝辐照到探测器上，实现光谱的连续探测。本发明所提出的基于MEMS扫描微镜的光谱仪具有体积小、光谱测量范围广、分辨率高、成本低廉等优点。
主 权 项：一种基于MEMS扫描微镜的高分辨率微型红外光谱仪，它是由光纤连接装置（1）和/或入射狭缝（2）、准直反射镜（3）、扫描微镜（4）、闪耀光栅（5）、球面聚焦反射镜、出射狭缝（8）和红外探测器组成；所述光纤（1）设置在入射狭缝（2）前，入射狭缝（2）设置于准直反射镜（3）的焦平面附近，在准直反射镜（3）反射的平行光路中设置扫描微镜（4），在扫描微镜（4）的反射光路中设置闪耀光栅（5）；其特征在于：所述球面聚焦反射镜采用两个，所述红外探测器采用一个单元红外探测器（9）；一个球面聚焦反射镜（6）设置在闪耀光栅（5）的衍射光路上，另一球面聚焦反射镜（7）相对于前一球面聚焦反射镜（6）呈小于90°夹角布置，在球面聚焦反射镜（7）的聚焦点上设置出射狭缝（8），出射狭缝（8）的出射光路上布置单元红外探测器（9）；光束经闪耀光栅（5）衍射分光后经球面聚焦反射镜（6）、（7）聚焦成像并通过出射狭缝（8）入射到单元红外探测器（9）上。
关 键 词：
法律状态：生效
IPC专利分类号：G01N21/35; G01J3/06; G01J3/02