专利类型:发明专利
语 言:中文
申 请 号:CN201210170261.9
申 请 日:20120529
申 请 人:重庆大学
申请人地址:400044 重庆市沙坪坝区沙坪坝正街174号
公 开 日:20121003
公 开 号:CN102707435A
代 理 人:赵荣之
代理机构:北京同恒源知识产权代理有限公司 11275
摘 要:本发明公开了一种双极型电磁式扫描微镜,是以硅基材料为衬底,采用MEMS工艺,加工出含有微反射镜面2、双极型电磁微驱动器4、扭转梁1、角度传感器3、双极型电磁微驱动器线圈连接极5以及支撑框架6的双极型电磁式扫描微镜。本发明采用双极型驱动方式对微镜进行驱动,可实现吸引力和排斥力同时作用于扭转梁上,在较低的驱动电压下实现微镜的大角度扫描;由于采用双极型电磁式驱动的结构,使得其响应时间大大缩短,极大地提高了微镜的工作频率;同时集成了电磁式角度传感器,实现扫描角度的精确测量,因此该扫描微镜外围信号处理电路简单易行,其成果可广泛应用于医学成像、投影仪、光谱仪及图形码阅读器等领域。
主 权 项:双极型电磁式扫描微镜,其特征在于:所述微镜包括微反射镜面(2)、双极型电磁微驱动线圈以及支撑框架(6),所述反射镜面(2)、双极型电磁微驱动线圈以及支撑框架(6)均制作在同一片硅结构层(5)上并以硅结构层(5)作为其共同的底层,所述反射镜面(2)、双极型电磁微驱动线圈位于支撑框架(4)结构的内部;所述微反射镜面(2)的上、下两侧的中部位置分别设置有相互对称的扭转梁(1),所述扭转梁(1)具有与微反射镜面(2)、双极型电磁微驱动线圈以及支撑框架(6)相同的硅结构层,扭转梁(1)的一端通过硅结构层与微反射镜面(2)相连接,另一端通过硅结构层与支撑框架(6)相连接;所述双极型电磁微驱动线圈包括微驱动线圈I(41)和微驱动线圈II(42),两者沿微反射镜面(2)的纵向中轴线对称设置在微反射镜面(2)的左、右两侧,微驱动线圈I(41)和微驱动线圈II(42)的绕向相反,在通入电流时,可实现吸引力和排斥力同时作用于扭转梁(1)上;所述微驱动线圈I(41)的起绕端设置有连接电极I(C),终绕端设置有驱动电极I(B),所述微驱动线圈II(42)的起绕端设置有连接电极I(C’),终绕端设置有驱动电极I(B’),所述连接电极I(C)与连接电极I(C’)导电连接,用于驱动微驱动线圈I(41)和微驱动线圈II(42)的电信号通过驱动电极I(B)、驱动电极I(B’)输入。
关 键 词:
法律状态:生效
IPC专利分类号:B81B7/02; G02B26/08