一种低g值微机械加速度锁存开关
专利类型：发明专利
语 言：中文
申 请 号：CN201510771891.5
申 请 日：20151112
申 请 人：重庆大学
申请人地址：400044 重庆市沙坪坝区沙坪坝正街174号
公 开 日：20180615
公 开 号：CN105244224B
代 理 人：赵荣之
代理机构：北京同恒源知识产权代理有限公司 11275
摘 要：本发明公开一种低g值微机械加速度锁存开关，包括一绝缘衬底，一检测质量块，多个相对于绝缘衬底X轴和Y轴均对称分布的锚点、触头、触头支撑梁、检测质量块支撑梁及过载保护结构。本发明所述微机械开关的动触头采用半球形与楔形复合结构，与侧触头形成线接触，降低运动过程中的能量损失，与感应触头形成面接触，减小接触电阻，提高接触的可靠性；检测质量块、扰性梁、触头以及锚点呈完全轴对称分布，可实现±Y方向的双向锁存；检测质量块支撑梁对称分布于检测质量块的两侧，结构布局更合理，易于实现低g值锁存，且通过调整检测质量块、扰性梁以及各触头之间的间隙，可方便调整闭锁阈值，阈值范围更广。 1
主 权 项：1.一种低g值微机械加速度锁存开关，其特征在于，包括一绝缘衬底，一检测质量块，多
个相对于绝缘衬底X轴和Y轴均对称分布的锚点、触头、触头支撑梁以及过载保护结构，四根
相对于绝缘衬底X轴和Y轴对称分布的检测质量块支撑梁；各锚点固定在绝缘衬底上；
缘衬底上，检测质量块上设置有微孔，并在正对绝缘衬底一侧设置有质量块微柱；
为一体，侧触头和感应触头位于动触头两侧；所述动触头与侧触头接触的一面为球面形状，
与感应触头接触的一面为平面形状；
于绝缘衬底上，另一端分别与相应触头相连；
质量块相连；
和检测质量块之间，对称分布于检测质量块两侧，并与检测质量块之间有一定距离。
底为7740玻璃、SiO2或高阻硅，厚度为300?500μm。
3.根据权利要求1所述的一种低g值微机械加速度锁存开关，其特征在于，所述检测质
量块为长方形单晶硅结构，长500?3000μm，宽500?3000μm，厚50?450μm。
4.根据权利要求3所述的一种低g值微机械加速度锁存开关，其特征在于，所述质量块
微孔为等间距分布在检测质量块上的边长10?50μm的正方形微孔；所述质量块微柱为长
500?3000μm，宽10?50μm，高5?50μm的条形微柱。
5.根据权利要求1所述的一种低g值微机械加速度锁存开关，其特征在于，所述动触头
为复合结构，与侧触头接触部分为1/4球面结构，球半径为10?100μm，与感应触头接触部分
为斜面结构；动触头与感应触头距离10?100μm，与侧触头距离10?50μm。
6.根据权利要求1所述的一种低g值微机械加速度锁存开关，其特征在于，所述触头支
撑梁均为一端固定的悬臂梁，梁长500?1500μm，梁宽5?50μm。
7.根据权利要求1所述的一种低g值微机械加速度锁存开关，其特征在于，所述检测质
量块支撑梁为一折或多折折叠梁，梁厚为10?50μm；长梁长500?1500μm，梁宽5?50μm；连接长
梁间的短梁长10?100μm，梁宽10?50μm。
8.根据权利要求1所述的一种低g值微机械加速度锁存开关，其特征在于，所述过载保
护结构为长方体结构，与检测质量块距离5?50μm。
关 键 词：质量块;触头;支撑梁;检测;锁存;对称分布;微机械;衬底;锚点;扰性;绝缘;过载保护结构;微机械开关;轴对称分布;调整检测;复合结构;感应触头;降低运动;接触电阻;结构布局;能量损失;半球形;侧触头;双向锁;线接触;形成面;闭锁;减小;楔形
法律状态：授权
IPC专利分类号：H01H35/14(2006.01)I,H01H1/00(2006.01)I