集成差分式角传感器的扫描微镜
专利类型：发明专利
语 言：中文
申 请 号：CN201810403477.2
申 请 日：20180428
申 请 人：重庆大学
申请人地址：400030 重庆市沙坪坝区沙正街174号
公 开 日：20180911
公 开 号：CN108519673A
代 理 人：康海燕
代理机构：重庆华科专利事务所 50123
摘 要：本发明公开了一种集成差分式角传感器的电磁驱动式扫描微镜,包括集成了电磁驱动器与角传感器的芯片和紧贴在其上面的硅基MEMS反射镜面。所述芯片由中心镜板、扭转梁和支撑框架构成。为了克服传统硅基MEMS扫描微镜镜面尺寸小和低频器件可靠性差两方面缺陷,本发明采用柔性的FR4或铝作为基底材料；为了提升电磁角传感器的输出信号品质,本发明集成了差分式角传感器,有效减小了非线性误差和共模噪声,并提高了抗干扰能力；为了增大电磁驱动器的驱动能力和角传感器的灵敏度,驱动线圈与传感线圈均采用双层走线的布线方式。本发明结构简单新颖、容易制作、成本低廉且可批量生产,在微型光谱仪、光学扫描系统和生物医学成像等领域有着广泛的应用。
主 权 项：1.一种集成差分式角传感器的扫描微镜,包括芯片、MEMS反射镜面、电磁驱动器和角传感器；其特征在于：所述芯片包括中心镜板、扭转梁、支撑框架；中心镜板通过一对扭转梁悬置于支撑框架中；所述电磁驱动器的驱动线圈位于中心镜板的表面；所述角传感器为差分式结构,由位于中心镜板上偏离扭转轴的两侧角传感线圈构成,每一侧的角传感线圈均在中心镜板的表面；所述MEMS反射镜面紧贴在集成了电磁驱动器与角传感器的芯片的中心镜板。
关 键 词：角传感器;扫描微镜;差分式;电磁驱动器;硅基;芯片;光学扫描系统;生物医学成像;电磁驱动式;非线性误差;抗干扰能力;微型光谱仪;布线方式;传感线圈;低频器件;发明集成;反射镜面;共模噪声;基底材料;驱动能力;驱动线圈;输出信号;双层走线;支撑框架;镜面;灵敏度;扭转梁;中心镜;减小;紧贴;制作;应用;生产
法律状态：
IPC专利分类号：G02B26/08