基于MOEMS工艺集成角度传感器的微扫描光栅
专利类型：发明专利
语 言：中文
申 请 号：CN201210199315.4
申 请 日：20120615
申 请 人：重庆大学
申请人地址：400030 重庆市沙坪坝区沙正街174号
公 开 日：20120926
公 开 号：CN102692705A
代 理 人：康海燕
代理机构：重庆华科专利事务所 50123
摘 要：本发明提出的一种高衍射效率、集成压阻角度传感器、电磁驱动的基于MOEMS工艺的扫描微光栅,它由电磁驱动单元,压阻角度传感器单元,光栅衍射面单元,支撑梁单元四部分构成。它采用不同于其他扫描光栅驱动结构,实现偏转角的主动监测,减小系统的体积,提高系统的便携性。
主 权 项：基于MOEMS工艺集成角度传感器的微扫描光栅,它由电磁驱动单元、压阻角度传感器单元、光栅衍射面单元和支撑扭转梁单元构成；其特征在于,所述电磁驱动单元由MOEMS工艺加工的电磁驱动线圈(19)与永久磁铁元件组成,为了使扫描微光栅做绕支撑扭转梁(1)扭转,加载于电磁驱动线圈(19)的交流电压Ui表示如下：Ui=Umsin(ωt)其中Um为交流电压幅值,ω为扫描微光栅的谐振频率；所述电磁驱动线圈应用溅射和电镀工艺制作,埋层引线使用离子注入的方法制作；所述压阻角度传感器单元由压阻角度传感器(4、5)和焊盘(6)组成,该压阻角度传感器集成于扫描光栅的支撑扭转梁(1)上,压阻角度传感器为(100)硅的P型硅压阻,该压阻角度传感器的方向与支撑扭转梁成45°,布置于[110]晶向,对光栅工作面的偏转角度起到监测作用,压阻条采用惠斯通电桥电路结构的排布方式,所述光栅衍射面单元的光栅工作面(2)槽型为矩形,光栅为位相型光栅；所述支撑扭转梁(1)支撑扫描光栅工作面,可扭转；当入射波长为λ平行光,入射角度为i时,经过扫描光栅衍射后的出射光的衍射角度r为：式中：d为光栅常数；k为衍射光谱级次；θT为扫描光栅扭转角度。FDA00001769122200011.jpg
关 键 词：
法律状态：
IPC专利分类号：G02B26/10;G02B5/18