检索结果分析
- 一种硅基MEMS闪耀光栅的制备方法
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申请号：CN201910357433.5
申请日：20190429
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明涉及一种硅基MEMS闪耀光栅的制备方法,属于半导体加工技术领域,基于单晶硅的各向异性湿法腐蚀特性,通过将N型(111)硅片按特定切偏角(即闪耀角)进行切割,采用两次光刻腐蚀的方法,利用硅的慢腐蚀面(111)面相交形...
- 一种晶圆级压电振动能量收集器真空封装结构的制作方法
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申请号：CN201610186003.8
申请日：20160329
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开了一种晶圆级压电振动能量收集器真空封装结构的制作方法,该方法包括：以SOI基片作为基底材料,双面生长顶层SiO2层和底层SiO2层；在顶层SiO2层上生长下电极层、压电层、上电极层、Ge层并分别图形化；ICP刻...
- 一种低g值微机械加速度锁存开关
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申请号：CN201510771891.5
申请日：20151112
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开一种低g值微机械加速度锁存开关，包括一绝缘衬底，一检测质量块，多个相对于绝缘衬底X轴和Y轴均对称分布的锚点、触头、触头支撑梁、检测质量块支撑梁及过载保护结构。本发明所述微机械开关的动触头采用半球形与楔形复合结构...
- 一种低g值微机械加速度锁存开关
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申请号：CN201510771891.5
申请日：20151112
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开一种低g值微机械加速度锁存开关，包括一绝缘衬底，一检测质量块，多个相对于绝缘衬底X轴和Y轴均对称分布的锚点、触头、触头支撑梁、检测质量块支撑梁及过载保护结构。本发明所述微机械开关的动触头采用半球形与楔形复合结构...
- 基于亥姆霍兹效应的低频压电振动能量收集器及其制作工艺
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申请号：CN201510289733.6
申请日：20150529
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开了一种基于亥姆霍兹效应的低频压电振动能量收集器及其制作工艺，属于可再生资源技术领域。该能量收集器包括：玻璃上盖、玻璃下盖、以及能量转换单元；玻璃上盖和玻璃下盖上下组合形成亥姆霍兹谐振腔，能量转换单元安装在亥姆霍...
- MEMS圆片级真空封装结构及方法
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申请号：CN201510278031.8
申请日：20150527
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开了一种MEMS圆片级真空封装结构及方法，所述封装结构包括绝缘衬底、MEMS芯片结构层和盖板，三者通过圆片级键合方式连接成一体，形成真空腔室。本发明在第一键合环中心设计有不完全闭合的第二键合环，同时利用阳极键合与...
- MEMS圆片级真空封装结构及方法
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申请号：CN201510278031.8
申请日：20150527
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开了一种MEMS圆片级真空封装结构及方法，所述封装结构包括绝缘衬底、MEMS芯片结构层和盖板，三者通过圆片级键合方式连接成一体，形成真空腔室。本发明在第一键合环中心设计有不完全闭合的第二键合环，同时利用阳极键合与...
- 一种具有双工器功能的氮化铝压电薄膜器件的制备方法
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申请号：CN201410794021.5
申请日：20141219
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开了一种具有双工器功能的氮化铝压电薄膜器件，由下至上依次包括硅衬底、绝缘层、下电极、第I氮化铝薄膜层、中间电极、第II氮化铝薄膜层和上电极，所述第I氮化铝薄膜层和第II氮化铝薄膜层的C轴与硅衬底(1)倾斜且两者倾...
- 一种具有双工器功能的氮化铝压电薄膜器件及其制备方法
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申请号：CN201410794021.5
申请日：20141219
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开了一种具有双工器功能的氮化铝压电薄膜器件,由下至上依次包括硅衬底、绝缘层、下电极、第I氮化铝薄膜层、中间电极、第II氮化铝薄膜层和上电极,所述第I氮化铝薄膜层和第II氮化铝薄膜层的C轴与硅衬底(1)倾斜且两者倾...
- 一种微机械横向振动加速度开关
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申请号：CN201310614546.1
申请日：20131128
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明提供一种微机械水平横向振动加速度开关，涉及微机电系统领域，由绝缘衬底、锚点、凸台型结构、触头、折叠梁和检测质量块组成。所述锚点位于检测质量块的水平纵向方向两侧，固定于绝缘衬底上，通过折叠梁与检测质量块连接，使折叠梁...
- 一种微机械横向振动加速度开关
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申请号：CN201310614546.1
申请日：20131128
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明提供一种微机械水平横向振动加速度开关，涉及微机电系统领域，由绝缘衬底、锚点、凸台型结构、触头、折叠梁和检测质量块组成。所述锚点位于检测质量块的水平纵向方向两侧，固定于绝缘衬底上，通过折叠梁与检测质量块连接，使折叠梁...
- 宽频带微型压电振动能量收集器及其制作方法
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申请号：CN201210459561.9
申请日：20121115
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开了一种宽频带微型压电振动能量收集器及其制作方法，包括固定支架、质量块和悬臂梁阵列；悬臂梁阵列设置有压电层并设置于固定支架上，质量块设置于悬臂梁阵列上；质量块位于固定支架中央；悬臂梁阵列包括多个悬臂梁组，悬臂梁组...
- 宽频带微型压电振动能量收集器及其制作方法
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申请号：CN201210459561.9
申请日：20121115
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开了一种宽频带微型压电振动能量收集器及其制作方法，包括固定支架、质量块和悬臂梁阵列；悬臂梁阵列设置有压电层并设置于固定支架上，质量块设置于悬臂梁阵列上；质量块位于固定支架中央；悬臂梁阵列包括多个悬臂梁组，悬臂梁组...
- 双极型电磁式扫描微镜
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申请号：CN201210170261.9
申请日：20120529
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开了一种双极型电磁式扫描微镜，是以硅基材料为衬底，采用MEMS工艺，加工出含有微反射镜面2、双极型电磁微驱动器4、扭转梁1、角度传感器3、双极型电磁微驱动器线圈连接极5以及支撑框架6的双极型电磁式扫描微镜。本发明...
- 一种用于硫铁矿浮选的组合药剂
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申请号：CN201110191398.8
申请日：20110710
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：一种用于硫铁矿浮选的组合药剂，该组合药剂包括起泡剂二号油、由乙基黄药和丁基黄药混合的捕收剂，本发明在硫铁矿中铁的质量含量为36.7～37.4％、杂质高岭土的质量含量为55.6～57.3％的情况下，以制成质量浓度为30～4...
- 一种微机械加速度开关
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申请号：CN201110188259.X
申请日：20110706
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明提供了一种微机械加速度开关，涉及微机电系统领域，所述微机械加速度开关包括：绝缘衬底、信号传输线、质量块、折叠梁、触点、锚区和过载保护结构。信号传输线固定在绝缘衬底上，位于质量块上方；锚区固定在绝缘衬底上，位于质量块...
- 一种回收甘氨酸废母液中有用成分的方法
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申请号：CN200910251042.1
申请日：20091229
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：一种回收甘氨酸废母液中有用成分的方法，该方法包括把甘氨酸废母液酸化；加入有机溶剂与其充分混合；第一次固液分离，得第一道滤液和含有用成分的固体；溶解固体、通过浓缩、结晶分离出不同有用成分；将第一道滤液继续加入有机溶剂并充分...