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已选条件:
  • 发明人=闫许x
排序:
静电简支梁式干涉光调制器

申请号:CN200510057391.1

申请日:20051118

申请人:重庆大学

浏览量:0
摘要:本发明涉及一种静电简支梁式干涉光调制器,主要由衬底、控制电路、下电极层、简支梁、可动反射镜以及固定玻璃平板构成。在衬底上形成有下电极层和控制电路,下电极层与控制电路各单元电极控制端接触;在下电极层上淀积绝缘层,绝缘层之上...
静电简支梁式干涉光调制器

申请号:CN200510057391.1

申请日:20051118

申请人:重庆大学

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摘要:本发明涉及一种静电简支梁式干涉光调制器,主要由衬底、控制电路、下电极层、简支梁、可动反射镜以及固定玻璃平板构成。在衬底上形成有下电极层和控制电路,下电极层与控制电路各单元电极控制端接触;在下电极层上淀积绝缘层,绝缘层之上...
静电简支梁式干涉光调制器

申请号:CN200510057391.1

申请日:20051118

申请人:重庆大学

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摘要:本发明涉及一种静电简支梁式干涉光调制器,主要由衬底、控制电路、下电极层、简支梁、可动反射镜以及固定玻璃平板构成。在衬底上形成有下电极层和控制电路,下电极层与控制电路各单元电极控制端接触;在下电极层上淀积绝缘层,绝缘层之上...
反射镜平动式光栅光调制器及阵列

申请号:CN200510020185.3

申请日:20050113

申请人:重庆大学

浏览量:0
摘要:反射镜平动式光栅光调制器及阵列,光调制器包括:基底;基底之上形成的绝缘层和电极层;位于电极层之上由支撑梁支撑的可动平板,由施加到电极层上的偏压驱动做垂直向下移动;与基底固定的固定光栅,整体罩于多个由上述部件组成的结构单元...
悬臂梁式闪耀光栅光调制器及阵列

申请号:CN200510020184.9

申请日:20050113

申请人:重庆大学

浏览量:0
摘要:本发明涉及一种悬臂梁式闪耀光栅光调制器及阵列,它具有一个基底和一个电驱动装置,基底上依次形成有下电极层和绝缘层,在绝缘层上方悬浮有多个具有反射表面的带状物,绝缘层和带状物之间留有间隙,这些带状物由各自的一个端部支撑在绝缘...
光栅平动式光调制器及阵列

申请号:CN200510020186.8

申请日:20050113

申请人:重庆大学

浏览量:0
摘要:本发明涉及一种光栅平动式光调制器及阵列,光调制器包括:一有绝缘层和负电极硅基底,一镀于负电极之上的底层反射面,一位于底层反射面之上,四边与悬臂梁连接而被支撑的顶层反射面,该顶层反射面被均匀蚀刻出镂空矩形槽,形成光栅,一将...
光栅平动式光调制器及阵列

申请号:CN200510020186.8

申请日:20050113

申请人:重庆大学

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摘要:本发明涉及一种光栅平动式光调制器及阵列,光调制器包括:一有绝缘层和负电极硅基底,一镀于负电极之上的底层反射面,一位于底层反射面之上,四边与悬臂梁连接而被支撑的顶层反射面,该顶层反射面被均匀蚀刻出镂空矩形槽,形成光栅,一将...
反射镜平动式光栅光调制器及阵列

申请号:CN200510020185.3

申请日:20050113

申请人:重庆大学

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摘要:反射镜平动式光栅光调制器及阵列,光调制器包括:基底;基底之上形成的绝缘层和电极层;位于电极层之上由支撑梁支撑的可动平板,由施加到电极层上的偏压驱动做垂直向下移动;与基底固定的固定光栅,整体罩于多个由上述部件组成的结构单元...
悬臂梁式闪耀光栅光调制器及阵列

申请号:CN200510020184.9

申请日:20050113

申请人:重庆大学

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摘要:本发明涉及一种悬臂梁式闪耀光栅光调制器及阵列,它具有一个基底和一个电驱动装置,基底上依次形成有下电极层和绝缘层,在绝缘层上方悬浮有多个具有反射表面的带状物,绝缘层和带状物之间留有间隙,这些带状物由各自的一个端部支撑在绝缘...
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