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悬臂梁式闪耀光栅光调制器及阵列
专利类型：发明专利
语 言：中文
申 请 号：CN200510020184.9
申 请 日：20050113
申 请 人：重庆大学
申请人地址：400044重庆市沙坪坝区沙正街174号重庆大学光电工程学院
公 开 日：20050824
公 开 号：CN1658008
代 理 人：康海燕
代理机构：重庆华科专利事务所
摘 要：本发明涉及一种悬臂梁式闪耀光栅光调制器及阵列，它具有一个基底和一个电驱动装置，基底上依次形成有下电极层和绝缘层，在绝缘层上方悬浮有多个具有反射表面的带状物，绝缘层和带状物之间留有间隙，这些带状物由各自的一个端部支撑在绝缘层上，同时带状物上的一层金属铝膜形成上电极，也作为光反射层，整个形成悬臂梁式结构，带状物按行列位置并列布置，形成面阵，所有的带状物在自由状态时基本共面。通过施加偏压，所有的反射平面都可以保持在第一平面内。当所有的部件位于第一平面内时，衍射光栅反射入射光束。当所述预定的带状物位于设定的倾斜角度时，衍射光栅衍射入射光束，此时，该闪耀光栅将光能量闪耀到预定的衍射级次上。??全部
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法律状态：
IPC专利分类号：G02B26/00;G02F1/01