光栅平动式光调制器及阵列

专利类型：发明专利 

语 言：中文 

申 请 号：CN200510020186.8 

申 请 日：20050113 

发 明 人：黄尚廉张智海闫许付红桥张洁伍艺 

申 请 人：重庆大学 

申请人地址：400044重庆市沙坪坝区沙正街174号重庆大学光电工程学院 

公 开 日：20050824 

公 开 号：CN1658009 

代 理 人：康海燕 

代理机构：重庆华科专利事务所 

摘　　要：本发明涉及一种光栅平动式光调制器及阵列，光调制器包括：一有绝缘层和负电极硅基底，一镀于负电极之上的底层反射面，一位于底层反射面之上，四边与悬臂梁连接而被支撑的顶层反射面，该顶层反射面被均匀蚀刻出镂空矩形槽，形成光栅，一将下拉电压加在顶层反射面与底层反射面之间的偏压施加装置。该器件是利用深度可变的矩形槽光栅对入射光的相位进行调制，具有出光效率高、调制速度快、对比度高、亮度高、均匀性好等优点，同时制造工艺简单，良品率高，有效利用面积大。??全部 

主 权 项： 

关 键 词： 

法律状态： 

IPC专利分类号：G02B26/00;G02F1/01