反射镜平动式光栅光调制器及阵列
专利类型：发明专利
语 言：中文
申 请 号：CN200510020185.3
申 请 日：20050113
申 请 人：重庆大学
申请人地址：400044重庆市沙坪坝区沙正街174号重庆大学光电工程学院
公 开 日：20050727
公 开 号：CN1645183
代 理 人：康海燕
代理机构：重庆华科专利事务所
摘 要：反射镜平动式光栅光调制器及阵列，光调制器包括：基底；基底之上形成的绝缘层和电极层；位于电极层之上由支撑梁支撑的可动平板，由施加到电极层上的偏压驱动做垂直向下移动；与基底固定的固定光栅，整体罩于多个由上述部件组成的结构单元形成阵列之上，固定光栅与电极层之间为可动平板移动的空间间隙。光栅光调制器在未加电压时，平板位于第一平面内，光强集中在衍射零级；通过电压驱动，平板垂直上下运动，位于第二平面，光强集中在衍射一级，由此实现对入射光束的不同调制，以提供不同的衍射光能量的分布。本调制器具有扩大器件的有效面积，实现光调制器的面阵结构，提高器件的光学衍射效率，简化器件的加工工艺等优点。??全部
主 权 项：1、反射镜平动式光栅光调制器，其特征在于光调制器包括有：A基底；B基底之上形成的绝缘层和电极层；C位于电极层之上一定间距、由支撑梁支撑的可动平板，可动平板具有反射面，并由施加到支撑梁或电极层上的偏压驱动做垂直上下移动；D用于支撑可动平板的支撑梁，该支撑梁下部支撑在基底上，并镀有金属薄膜，具有电耦合性，使之同电极层之间形成可动的电容极板。E一个固定光栅，该固定光栅罩于上述部件组成的结构单元之上，并与基底固定，固定光栅与电极层之间为可动平板移动的空间间隙。F驱动电路，通过电极引出线连接电极层和支撑梁。可产生不同电平、不同频率的驱动电压。
关 键 词：
法律状态：授权
IPC专利分类号：G02B26/00