反射镜平动式光栅光调制器及阵列

专利类型：发明专利

语言：中文

申请号：CN200510020185.3

申请日：20050113

发明人：黄尚廉伍艺张洁张智海付红桥闫许

申请人：重庆大学

申请人地址：400044重庆市沙坪坝区沙正街174号重庆大学光电工程学院

公开日：20050727

公开号：CN1645183

代理人：康海燕

代理机构：重庆华科专利事务所

摘　　要：反射镜平动式光栅光调制器及阵列，光调制器包括：基底；基底之上形成的绝缘层和电极层；位于电极层之上由支撑梁支撑的可动平板，由施加到电极层上的偏压驱动做垂直向下移动；与基底固定的固定光栅，整体罩于多个由上述部件组成的结构单元形成阵列之上，固定光栅与电极层之间为可动平板移动的空间间隙。光栅光调制器在未加电压时，平板位于第一平面内，光强集中在衍射零级；通过电压驱动，平板垂直上下运动，位于第二平面，光强集中在衍射一级，由此实现对入射光束的不同调制，以提供不同的衍射光能量的分布。本调制器具有扩大器件的有效面积，实现光调制器的面阵结构，提高器件的光学衍射效率，简化器件的加工工艺等优点。??全部

主权项：

关键词：

法律状态：

IPC专利分类号：G02B26/00