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  • 发明人=王少刚x
排序:
具有浮岛结构的宽禁带半导体VDMOSFET器件及其制造方法

申请号:CN201810229412.0

申请日:20180320

申请人:重庆大学

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摘要:本发明涉及一种具有浮岛结构的宽禁带半导体VDMOSFET器件及其制造方法,包含绝缘介质层(1)、多晶硅栅电极(2)、金属化源电极(3)、第二导电类型宽禁带半导体体区(4)、第一导电类型宽禁带半导体源接触区(5)、重掺杂第...
具有浮动结的沟槽型碳化硅SBD器件及其制造方法

申请号:CN201810229695.9

申请日:20180320

申请人:重庆大学

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摘要:本发明涉及一种具有浮动结的沟槽型碳化硅SBD器件及其制造方法,属于半导体器件技术领域,包含碳化硅衬底(101)、第一外延层(201)、P型离子注入区(203)、第二外延层(301)、沟槽结构(302)、终端区绝缘介质隔离...
一种具有沟槽隔离栅极结构的超结IGBT

申请号:CN201810229398.4

申请日:20180320

申请人:重庆大学

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摘要:本发明涉及一种具有沟槽隔离栅极结构的超结IGBT,属于半导体功率器件技术领域,包括半导体基板,半导体基板包含依次层叠设置的集电极金属层(10),P+集电区(9)和第一导电类型缓冲层(8),第一导电类型缓冲层(8)的上表面...
一种横向超结结构氮化镓HEMT器件及其制造方法

申请号:CN201810229172.4

申请日:20180320

申请人:重庆大学

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摘要:本发明涉及一种横向超结结构氮化镓HEMT器件及其制造方法,该方法包含如下步骤:S1:在准备好的衬底层上依次布置AlN层、GaN缓冲层,GaN沟道层;S2:在步骤S1得到的外延片上涂一层光刻胶作为离子注入阻挡层;S3:对光...
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