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- 一种全谱段800nm#2500nm的双探测器微型近红外光谱仪
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申请号：CN201611037044.7
申请日：20161123
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明提出了一种全谱段800nm#2500nm的双探测器微型近红外光谱仪,它是由近红外光源、入射狭缝、凹面准直镜、MOEMS扫描光栅微镜、凹面成像镜、出射狭缝、响应波长范围不同的单管近红外双探测器组成。本发明设计的改进型...
- 集成角度传感器的高衍射效率MEMS扫描光栅
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申请号：CN201510805579.3
申请日：20151120
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明提出一种集成角度传感器的高衍射效率MEMS扫描光栅。它由光栅面、电磁驱动线圈、电磁传感线圈、扭转梁和支撑框架组成。所述光栅面、电磁驱动线圈、电磁传感线圈、扭转梁和支撑框架均制作在同一片偏晶向的(111)硅基底上。光...