检索结果分析
- 一种新型的正交狭缝光波导结构及制造方法
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申请号：CN201410579910.X
申请日：20141023
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开了一种新型的正交狭缝光波导结构及制造方法,包括衬底(101),位于衬底(101)上的单晶硅层(102)及位于单晶硅层(102)上的正交狭缝结构,正交狭缝结构包括：正交结构的狭缝区域(104,105,107),位...
- 一种正交狭缝光波导结构及制造方法
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申请号：CN201410579910.X
申请日：20141023
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开了一种新型的正交狭缝光波导结构及制造方法,包括衬底(101)，位于衬底(101)上的单晶硅层(102)及位于单晶硅层(102)上的正交狭缝结构，正交狭缝结构包括：正交结构的狭缝区域(104，105，107)，位...