检索结果分析
- 基于MOEMS工艺集成角度传感器的微扫描光栅
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申请号：CN201210199315.4
申请日：20120615
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明提出的一种高衍射效率、集成压阻角度传感器、电磁驱动的基于MOEMS工艺的扫描微光栅,它由电磁驱动单元,压阻角度传感器单元,光栅衍射面单元,支撑梁单元四部分构成。它采用不同于其他扫描光栅驱动结构,实现偏转角的主动监测...
- 集成角度传感器的大面积压电驱动微镜
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申请号：CN200910104403.X
申请日：20090722
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明提出一种集成角度传感器的压电驱动扫描微镜，它包括集成在同一基片材料上的MOEMS微镜反射镜面、MOEMS微镜驱动器、MOEMS微镜角度传感器三部分。微镜驱动器由多根压电梁并联构成，微镜驱动器对称分布在MOEMS微镜...
- 集成角度传感器的大面积压电驱动微镜
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申请号：CN200910104403.X
申请日：20090722
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明提出一种集成角度传感器的压电驱动扫描微镜，它包括集成在同一基片材料上的MOEMS微镜反射镜面、MOEMS微镜驱动器、MOEMS微镜角度传感器三部分。微镜驱动器由多根压电梁并联构成，微镜驱动器对称分布在MOEMS微镜...
- 基于MEMS微镜阵列的微型光谱仪
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申请号：CN200910103679.6
申请日：20090424
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明提出一种基于MEMS微镜阵列的微型光谱仪，包括分光成像、MEMS扫描微镜阵列、光谱信号获取与处理三部分；分光成像部分包括狭缝和平场凹面光栅，MEMS扫描微镜阵列部分包括微镜阵列器件和微镜控制电路模块，光谱信号获取与...