集成角度传感器的大面积压电驱动微镜
专利类型：发明专利
语 言：中文
申 请 号：CN200910104403.X
申 请 日：20090722
申 请 人：重庆大学
申请人地址：400033重庆市沙坪坝区沙正街174号
公 开 日：20091230
公 开 号：CN101614871A
代 理 人：康海燕
代理机构：重庆华科专利事务所
摘 要：本发明提出一种集成角度传感器的压电驱动扫描微镜，它包括集成在同一基片材料上的MOEMS微镜反射镜面、MOEMS微镜驱动器、MOEMS微镜角度传感器三部分。微镜驱动器由多根压电梁并联构成，微镜驱动器对称分布在MOEMS微镜反射镜面的两边，通过基片材料形成的梁结构与MOEMS微镜反射镜面连成一体，微镜镜面进行驱动和支撑；微镜角度传感器在微镜反射镜面和微镜驱动器连接位置处，并与微镜驱动器的电极层之间留有电气隔离间隙。本发明采用压电驱动方式，在较低的驱动电压条件下实现大转角偏转；采用集成化的角度传感器设计，系统体积小，并具较高的角度检测精度，可用于在线检测的便携式仪器。
主 权 项：1、一种集成角度传感器的压电驱动扫描微镜，其特征在于，它包括集成在同一基片材料上的MOEMS微镜反射镜面、MOEMS微镜驱动器、MOEMS微镜角度传感器三部分，基片材料作为它们共同的底层；所述MOEMS微镜反射镜面部分包括所述基片材料和采用MOEMS工艺制作在所述基片材料上的镀膜层；所述MOEMS微镜驱动器由多根压电梁并联构成，单根压电梁由所述基片材料和采用MOEMS工艺从下向上依次制作在所述基片材料上的电绝缘层、下电极层、压电层和上电极层组成，相邻压电梁的端头之间由横向的基片材料连接；所述MOEMS微镜驱动器对称分布在MOEMS微镜反射镜面的两边，通过基片材料形成的梁结构与MOEMS微镜反射镜面连成一体，对MOEMS微镜镜面进行驱动和支撑；所述MOEMS微镜角度传感器是通过将电绝缘层、下电极层、压电层和上电极层依次制作在MOEMS微镜反射镜面和MOEMS微镜驱动器连接位置处的基片材料的梁结构之上而形成，并且在MOEMS微镜角度传感器的电极层与MOEMS微镜驱动器的电极层之间留有电气隔离间隙；所述MOEMS微镜驱动器和MOEMS微镜角度传感器的电信号通过上下电极层进行引入和引出。
关 键 词：
法律状态：
IPC专利分类号：G02B26/08(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I