检索结果分析
- 一种硅基MEMS闪耀光栅的制备方法
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申请号：CN201910357433.5
申请日：20190429
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明涉及一种硅基MEMS闪耀光栅的制备方法,属于半导体加工技术领域,基于单晶硅的各向异性湿法腐蚀特性,通过将N型(111)硅片按特定切偏角(即闪耀角)进行切割,采用两次光刻腐蚀的方法,利用硅的慢腐蚀面(111)面相交形...
- 一种压电非均匀折叠梁驱动的MOEMS扫描光栅微镜
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申请号：CN201810616840.9
申请日：20180615
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：一种压电非均匀折叠梁驱动的MOEMS扫描光栅微镜,由光栅、微镜、扭转梁、压电非均匀折叠梁微驱动器、角传感器和固定框架组成。微镜通过扭转梁悬置于固定框架上使其绕扭转梁转动而限制其他方向的平动,并结合在微镜背部掏蚀凹槽,提高...
- 集成差分式角传感器的扫描微镜
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申请号：CN201810403477.2
申请日：20180428
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开了一种集成差分式角传感器的电磁驱动式扫描微镜,包括集成了电磁驱动器与角传感器的芯片和紧贴在其上面的硅基MEMS反射镜面。所述芯片由中心镜板、扭转梁和支撑框架构成。为了克服传统硅基MEMS扫描微镜镜面尺寸小和低频...
- 一种扫描光栅微镜近红外光谱仪的工作电路
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申请号：CN201810050396.9
申请日：20180118
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明提出一种基于扫描光栅微镜近红外光谱仪的工作电路，包括电源管理电路和光谱仪控制电路。其中光谱仪控制电路包括至少两路用于光谱信号采集的PGA和ADC通道，一路用于角度传感采集的PGA经滤波器及ADC通道，用于扫描光栅微...
- 压电式集成MOEMS扫描光栅微镜
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申请号：CN201710687362.6
申请日：20170811
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开一种压电式集成MOEMS扫描光栅微镜，涉及光谱分析和微光机电系统领域，由集成扫描光栅微镜、扭转梁、连接梁、角传感器、压电微驱动器和固定框架组成。所提出的集成扫描光栅微镜是基于偏晶向(111)硅基，在正面集成了闪...
- 一种压电-摩擦电复合式宽频带微型能量收集器
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申请号：CN201710108046.9
申请日：20170227
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开一种压电?摩擦电复合式宽频带微型能量收集器，包括压电振动能量收集器主结构和摩擦电能量收集单元；压电振动能量收集器主结构包括硅固定基座、多个梯形压电悬臂梁构成的共质量块压电悬臂梁阵列及质量块；摩擦电能量收集单元包...
- 一种全谱段800nm#2500nm的双探测器微型近红外光谱仪
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申请号：CN201611037044.7
申请日：20161123
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明提出了一种全谱段800nm#2500nm的双探测器微型近红外光谱仪,它是由近红外光源、入射狭缝、凹面准直镜、MOEMS扫描光栅微镜、凹面成像镜、出射狭缝、响应波长范围不同的单管近红外双探测器组成。本发明设计的改进型...