检索结果分析
- 一种硅基MEMS闪耀光栅的制备方法
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申请号：CN201910357433.5
申请日：20190429
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明涉及一种硅基MEMS闪耀光栅的制备方法,属于半导体加工技术领域,基于单晶硅的各向异性湿法腐蚀特性,通过将N型(111)硅片按特定切偏角(即闪耀角)进行切割,采用两次光刻腐蚀的方法,利用硅的慢腐蚀面(111)面相交形...
- 一种N掺杂TiO2/MXene复合材料及其制备方法和应用
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申请号：CN201810515161.2
申请日：20180525
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明涉及一种N掺杂TiO2/MXene复合材料及其制备方法和应用,属于纳米材料技术领域,其制备方法包括MXene材料的制备及利用水热法以MXene材料和六次甲基四胺为原料制备N掺杂TiO2/MXene复合材料。该复合材...
- 一种晶圆级压电振动能量收集器真空封装结构的制作方法
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申请号：CN201610186003.8
申请日：20160329
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开了一种晶圆级压电振动能量收集器真空封装结构的制作方法,该方法包括：以SOI基片作为基底材料,双面生长顶层SiO2层和底层SiO2层；在顶层SiO2层上生长下电极层、压电层、上电极层、Ge层并分别图形化；ICP刻...
- 一种低g值微机械加速度锁存开关
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申请号：CN201510771891.5
申请日：20151112
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开一种低g值微机械加速度锁存开关，包括一绝缘衬底，一检测质量块，多个相对于绝缘衬底X轴和Y轴均对称分布的锚点、触头、触头支撑梁、检测质量块支撑梁及过载保护结构。本发明所述微机械开关的动触头采用半球形与楔形复合结构...
- 一种低g值微机械加速度锁存开关
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申请号：CN201510771891.5
申请日：20151112
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开一种低g值微机械加速度锁存开关，包括一绝缘衬底，一检测质量块，多个相对于绝缘衬底X轴和Y轴均对称分布的锚点、触头、触头支撑梁、检测质量块支撑梁及过载保护结构。本发明所述微机械开关的动触头采用半球形与楔形复合结构...
- 基于亥姆霍兹效应的低频压电振动能量收集器及其制作工艺
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申请号：CN201510289733.6
申请日：20150529
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开了一种基于亥姆霍兹效应的低频压电振动能量收集器及其制作工艺，属于可再生资源技术领域。该能量收集器包括：玻璃上盖、玻璃下盖、以及能量转换单元；玻璃上盖和玻璃下盖上下组合形成亥姆霍兹谐振腔，能量转换单元安装在亥姆霍...
- 一种微机械横向振动加速度开关
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申请号：CN201310614546.1
申请日：20131128
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明提供一种微机械水平横向振动加速度开关，涉及微机电系统领域，由绝缘衬底、锚点、凸台型结构、触头、折叠梁和检测质量块组成。所述锚点位于检测质量块的水平纵向方向两侧，固定于绝缘衬底上，通过折叠梁与检测质量块连接，使折叠梁...
- 一种微机械横向振动加速度开关
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申请号：CN201310614546.1
申请日：20131128
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明提供一种微机械水平横向振动加速度开关，涉及微机电系统领域，由绝缘衬底、锚点、凸台型结构、触头、折叠梁和检测质量块组成。所述锚点位于检测质量块的水平纵向方向两侧，固定于绝缘衬底上，通过折叠梁与检测质量块连接，使折叠梁...
- 基于PZT压电梁阵列的MEMS振动能量收集器
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申请号：CN201310281135.5
申请日：20130705
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明提出一种基于PZT压电梁阵列的MEMS振动能量收集器，该器件由多个PZT压电梁、一个质量块和外框组成。每个PZT压电梁包括硅基底、下电极、PZT压电膜和上电极。这些压电梁的一端固定在外框上，另一端共用一个质量块，压...