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一种精确控制布线间距的装置
专利类型：发明专利
语 言：中文
申 请 号：CN200710092838.8
申 请 日：20071016
申 请 人：重庆大学
申请人地址：400044重庆市沙坪坝区沙坪坝正街174号
公 开 日：20090916
公 开 号：CN100540455C
代 理 人：郭吉安
代理机构：重庆大学专利中心
摘 要：本发明提供了一种精确控制布线间距的装置。该装置可用于微加工技术领域中的布线间距精确控制。该装置包括至少一个活动的平行四边形框架，每个平行四边形框架由两个相对的布线枕和两个连接装置构成的，布线枕上固定有布线梳，将线布于两个相对布线枕的布线梳之间形成平行的布线阵列，然后定量改变平行四边形框架一个顶角的大小，就可以精确控制布线间距。该装置结构简单，容易实现，操作方便，成本低廉，稳固可靠，可以实现布线间距的精确控制，控制精度能达到微米级或亚微米级，为微加工技术领域的布线间距精确控制提供了一种有利的工具。
主 权 项：1、一种精确控制布线间距的装置，包括至少一个活动的平行四边形框架，其特征在于：平行四边形框架的一组对边由布线枕甲(1)和布线枕乙(2)构成，另一组对边由两个连接体构成，布线枕甲(1)上固定有布线梳甲(3)，布线枕乙(2)上固定有布线梳乙(4)。
关 键 词：
法律状态：公开
IPC专利分类号：B81C5/00(2006.01)I