一种用于简单光刻及软光刻的小型恒温自控实验台
专利类型：发明专利
语 言：中文
申 请 号：CN200810069250.5
申 请 日：20080116
申 请 人：重庆大学
申请人地址：400030重庆市沙坪坝区沙正街174号重庆大学生物工程学院
公 开 日：20080716
公 开 号：CN101221377A
代 理 人：康海燕
代理机构：重庆华科专利事务所
摘 要：本发明提供一种用于简单光刻及软光刻的小型恒温自控实验台。该实验台由一个梯形密闭箱，一个单片机控制器，一台真空泵组成。密闭箱体是由不锈钢板组成，前斜面是无色透明有机玻璃面板，面板上方为不透明盖板，在光刻实验时可以盖上，以避免外界光线的干扰。箱体内顶部悬挂照明用的日光灯，加热用的碘钨灯和起光刻和固化作用的紫外灯，它们都可以通过控制台进行控制。密闭箱两侧有两个圆孔，在不破坏密闭环境情况下，通过与圆孔相连的手套对样品进行操作加工。本实验台能实现温度测定，温度设定以及自动保持等基本功能，还可以将照明系统，加热系统，紫外光照装置及真空泵全部进行开关控制。
主 权 项：1.一种用于简单光刻及软光刻的小型恒温自控实验台，该实验台包括控制器(1)，实验台箱体(2)，紫外光照设备(3)，照明系统(4)，专用夹具(5)，加工平台(6)，气压系统，温度传感与加热系统，温度控制系统；其特征为：所述控制器(1)位于实验台箱体(2)的上方，用于对所述箱体内温度、气压、照明和光刻的整体控制；所述紫外光照射设备(3)与照明系统(4)设置在实验台箱体(2)内部的上方，用于紫外光照硬化、刻蚀加工以及照明；所述加工平台(6)位于实验台箱体(2)内的底部，专用夹具(5)用于固定加工平台(6)上面的基片材料，以及固定掩膜和母板；所述气压系统用于实现箱内所需的真空度；温度传感与加热系统固定在实验台箱体(2)内部的一侧，温度控制系统位于控制器(1)的内部，所述温度控制系统通过控制温度传感与加热系统来实现实验台箱体(2)的温度调节和恒定。
关 键 词：
法律状态：
IPC专利分类号：G03F7/20(2006.01);B01L9/02(2006.01)