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桥式光栅光调制器及其阵列
专利类型：发明专利
语 言：中文
申 请 号：CN200810232833.5
申 请 日：20081009
申 请 人：重庆大学
申请人地址：400033重庆市沙坪坝区沙正街174号
公 开 日：20090311
公 开 号：CN101382656
代 理 人：康海燕
代理机构：重庆华科专利事务所
摘 要：一种能够对入射光进行相位调制的桥式光调制器及其阵列，它是基于MOEMS技术在硅片上分层构造的器件。在底层反射面正上方有一组双端支撑的弹性梁，弹性梁上由两锚点支撑金属反射栅条，形成顶层反射面。顶层反射面和底层反射面之间的间距可变，在两者之间不加电压时，间距为nλ/2；加固定偏置电压V1时，间距为(2n－1)λ/4；当施加电压范围在0－V1之间时，间距在nλ/2至(2n－1)λ/4之间线性可调。使用多个这样的光调制器形成阵列时，每个光调制器都可以独立施加偏置电压，顶层反射面作垂直平动，形成衍射效果不同的点阵，使得像素投影成像在光栅方向上没有间隙，达到无缝显示的效果。这种光调制器可广泛地用于显示、投影、印刷、光通讯、光谱仪上。??全部
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法律状态：
IPC专利分类号：G02B26/08(2006.01)I