一种类金刚石厚膜及其制备方法及一种工件

专利类型：发明专利 

语 言：中文 

申 请 号：CN201510099972.5 

申 请 日：20150306 

发 明 人：孙德恩张文勇陈美容黄佳木 

申 请 人：重庆大学 

申请人地址：400044 重庆市沙坪坝区沙正街174号 

公 开 日：20170412 

公 开 号：CN104630708B 

代 理 人：赵青朵 

代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司 11227 

摘　　要：本发明提供了一种类金刚石厚膜，包括：结合层；复合于结合层的过渡层；复合于过渡层的类金刚石膜层；所述类金刚石膜层由sp3键含量不同的类金刚石子膜叠加而成。本发明通过将sp3键含量不同的类金刚石子膜叠加，得到类金刚石膜层，其中不涉及到引入外加异质元素，有效避免了异质元素掺杂导致膜层力学性能恶化的难题。并且，本发明通过将sp3键含量不同的类金刚石子膜进行叠加，大大降低了层与层之间的应力，层与层之间结合力较强，不会发生剥离。 

主 权 项：一种类金刚石厚膜，其特征在于，包括：结合层；复合于结合层的过渡层；复合于过渡层的类金刚石膜层；所述类金刚石膜层由SP³键含量不同的类金刚石子膜叠加而成。 

关 键 词： 

法律状态：生效 

IPC专利分类号：C23C14/06; C23C14/35; B32B15/00; B32B9/00