桥式光栅光调制器及其阵列
专利类型：发明专利
语 言：中文
申 请 号：CN200810232833.5
申 请 日：20081009
申 请 人：重庆大学
申请人地址：400033重庆市沙坪坝区沙正街174号
公 开 日：20090311
公 开 号：CN101382656A
代 理 人：康海燕
代理机构：重庆华科专利事务所
摘 要：一种能够对入射光进行相位调制的桥式光调制器及其阵列，它是基于MOEMS技术在硅片上分层构造的器件。在底层反射面正上方有一组双端支撑的弹性梁，弹性梁上由两锚点支撑金属反射栅条，形成顶层反射面。顶层反射面和底层反射面之间的间距可变，在两者之间不加电压时，间距为nλ/2；加固定偏置电压V1时，间距为(2n-1)λ/4；当施加电压范围在0-V1之间时，间距在nλ/2至(2n-1)λ/4之间线性可调。使用多个这样的光调制器形成阵列时，每个光调制器都可以独立施加偏置电压，顶层反射面作垂直平动，形成衍射效果不同的点阵，使得像素投影成像在光栅方向上没有间隙，达到无缝显示的效果。这种光调制器可广泛地用于显示、投影、印刷、光通讯、光谱仪上。
主 权 项：1. 一种桥式光栅光调制器，其特征在于它包括：a. 一带氧化层的硅基底，其上淀积有金属下电极兼底层反射面；b. 一覆盖于底层反射面上的透明绝缘层；c. 一组间距布置于透明绝缘层上的桥式弹性梁兼上电极，每个桥式弹性梁被两个或多个锚点支撑；d. 一组金属反射栅条即顶层反射面，每条栅条宽度和长度与对应的桥式弹性梁的宽度和长度相当，每一栅条由两个或多个锚点支撑在桥式弹性梁正上方，并把下方的桥式弹性梁隐藏起来；e. 一驱动电路，通过电极引出线连接金属下电极和上电极，在下电极和上电极之间加一偏置电压，由于下电极固定，作为上电极的桥式弹性梁在静电力的作用下向下弯曲，在偏置电压释放后，桥式弹性梁在自身弹性力的作用下回到原位，桥式弹性梁的上下弯曲运动带动栅条上下平动，使顶层反射面和底层反射面之间的间距发生变化，从而实现光学调制。
关 键 词：
法律状态：终止
IPC专利分类号：G02B26/08(2006.01)I