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光栅光调制器与有源矩阵驱动电路单片集成方法
专利类型：发明专利
语 言：中文
申 请 号：CN200810232832.0
申 请 日：20081009
申 请 人：重庆大学
申请人地址：400033重庆市沙坪坝区沙正街174号
公 开 日：20090325
公 开 号：CN101393321
代 理 人：康海燕
代理机构：重庆华科专利事务所
摘 要：本发明提出一种光栅光调制器与有源矩阵驱动电路单片集成方法，其结合当MEMS器件与CMOS电路单片集成的加工工艺，首先利用CMOS电路加工有源矩阵驱动电路，然后利用低温的表面微机械加工工艺得到MEMS光栅光调制器，实现支撑在下电极上的上层可动光栅形成的MEMS光栅光调制器和下层有源矩阵驱动电路的单片集成。利用该工艺加工的光栅光调制器，可以面向高清晰度、高分辨率投影显示。??全部
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法律状态：
IPC专利分类号：G02B26/08(2006.01)I;B81C5/00(2006.01)I