基于菲涅尔波带片的微光谱分析方法及器件
专利类型：发明专利
语 言：中文
申 请 号：CN200910103570.2
申 请 日：20090410
申 请 人：重庆大学
申请人地址：400033 重庆市沙坪坝区沙正街174号
公 开 日：20101020
公 开 号：CN101532879B
代 理 人：康海燕
代理机构：重庆华科专利事务所 50123
摘 要：本发明提出一种基于菲涅尔波带片的微光谱分析方法及器件，利用菲涅尔波带片的轴向分光特性，在轴向上探测不同波长入射光强，实现光谱分析探测。其由菲涅尔波带片构成的轴向分光元件作为上层可动分光结构，用静态单个光电探测单元和驱动电路作为下层静态探测及有源驱动结构，两层结构之间由桥式支撑结构连接。先将光信号入射到上菲涅尔波带片，使其被聚焦到下层的光电探测单元；由驱动电路对菲涅尔波带片做纵向下拉，使不同波长的聚焦点依次落在光电探测单元上，然后将光信号转换成电信号，再经后续的信号处理及算法解析，获得入射光光谱。本发明可以采用MEMS技术和光学微细加工技术实现，大大缩短光路，使得器件结构更加紧凑，集成度更高，体积更微小。
主 权 项：一种基于菲涅尔波带片的微光谱分析方法，所述方法是利用菲涅尔波带片的轴向分光特性，在轴向上探测不同波长入射光强，实现光谱分析探测；其特征在于，所述方法采用由菲涅尔波带片构成的轴向分光元件作为上层可动分光结构，采用静态单个光电探测单元和驱动电路作为下层静态探测及有源驱动结构，两层结构之间由一个桥式支撑结构连接；先将光信号入射到上菲涅尔波带片，使光信号被聚焦到下层的光电探测单元；驱动电路输出扫描电压信号，驱动桥式支撑结构，从而对上层的菲涅尔波带片做纵向下拉；由于波带片的分光特性，不同波长的聚焦点依次落在光电探测单元上，然后不同波长的光信号被转换成电信号，再经信号处理电路对信号进行采样，采样点位于每个波长的聚焦时刻，并与驱动信号相匹配；最后经后续的信号处理及算法解析，便获得入射光的光谱。
关 键 词：
法律状态：
IPC专利分类号：G01J3/28(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I;B81C5/00(2006.01)I