一种静电吸附力测试平台及其测力方法

专利类型：发明专利 

语 言：中文 

申 请 号：CN201810894782.6 

申 请 日：20180808 

发 明 人：陈锐张卓宋瑞洲 

申 请 人：重庆大学 

申请人地址：400032 重庆市沙坪坝区正街174号 

公 开 日：20181211 

公 开 号：CN108981998A 

代 理 人：张瑞玲 

代理机构：北京开林佰兴专利代理事务所(普通合伙) 11692 

摘　　要：本发明公开了一种静电吸附力测试平台及其测力方法,包括平台底座、基底板、基底框架、十字形滚珠丝杠驱动装置、静电吸附膜和吸附膜支架以及配套的控制采集界面窗口；所述基底框架和十字形滚珠丝杠驱动装置均安装于平台底座,基底板竖立安装于基底框架；所述吸附膜支架安装于十字形滚珠丝杠驱动装置,通过所述十字形滚珠丝杠驱动装置驱动吸附膜支架沿基底板的切向和法向移动；所述静电吸附膜布置于吸附膜支架并且与基底板平行；本发明的一种静电吸附力测试平台及测力方法,能够在同一平台上分别准确便捷地测量得到静电吸附膜的法向和切向静电吸附力,测量过程合理,测量准确。 

主 权 项：1.一种静电吸附力测试平台,其特征在于：包括平台底座、基底板、基底框架、十字形滚珠丝杠驱动装置、静电吸附膜和吸附膜支架以及配套的控制采集界面窗口；所述基底框架和十字形滚珠丝杠驱动装置均安装于平台底座,基底板竖立安装于基底框架；所述吸附膜支架安装于十字形滚珠丝杠驱动装置,通过所述十字形滚珠丝杠驱动装置驱动吸附膜支架沿基底板的切向和法向移动；所述静电吸附膜安装于吸附膜支架并且与基底板平行。 

关 键 词： 

法律状态： 

IPC专利分类号：G01L5/00