平移式微焦CT检测装置在线检测电子元件的方法
专利类型：发明专利
语 言：中文
申 请 号：CN201210065306.6
申 请 日：20120313
申 请 人：重庆大学
申请人地址：400044 重庆市沙坪坝区沙正街174号
公 开 日：20120718
公 开 号：CN102590248A
代 理 人：赵荣之
代理机构：北京同恒源知识产权代理有限公司 11275
摘 要：本发明公开了一种平移式微焦CT检测装置在线检测电子元件的方法,检测开始后,射线产生装置产生的锥形射线束对电子元件进行扫描,射线探测及数据采集装置获得射线投影数据,然后传送给控制及图像处理系统成像,包括数字式辐射成像DR和计算机层析成像CT。计算机层析成像时,根据平移式锥束射线扫描获得的不完全投影数据,采用本发明提出的基于子区域平均化和总变差最小化的平移式锥束CT迭代重建算法重建CT图像,可获得高质量三维CT图像。本发明用于对生产线上的电子元件进行高精度在线检测,可对电子元件的内外结构进行放大DR成像和三维CT成像；装置结构简单,扫描效率高；能有效检测电子元件的材质缺陷及装配缺陷。
主 权 项：平移式微焦CT检测装置在线检测电子元件的方法,包括射线产生装置、射线探测及数据采集装置、控制及图像处理系统和平移式传送装置；所述射线产生装置(1)、射线探测及数据采集装置(2)、平移式传送装置(3)的信号线路与控制及图像处理系统(7)相连,平移式传送装置(3)与电子元件生产线(8)相邻接,射线产生装置(1)靠近传送装置(3)并位于传送装置(3)上方,射线探测及数据采集装置(2)远离传送装置(3)并位于传送装置(3)下方,射线产生装置(1)和射线探测及数据采集装置(2)固定不动,待检电子元件(4)置于传送装置(3)上并与之保持相对静止状态,在控制及图像处理系统(7)的控制下,电子元件(4)随传送装置(3)以横向平移的方式运动,其特征在于：工作过程包括以下步骤：S1：启动射线产生装置、射线探测及数据采集装置、控制及图像处理系统和平移式传送装置；S2：射线产生装置产生的锥形射线束对电子元件进行扫描,射线探测及数据采集装置获得射线投影数据；S3：控制及图像处理系统接收射线投影数据；S4：得到待检电子元件的数字式辐射成像DR图像；S5：判断DR图像中是否存在缺陷区域；如果否,则转S1；S6：如果是,则重建待检电子元件内外结构的三维计算机层析成像CT图像。
关 键 词：
法律状态：
IPC专利分类号：G01N23/04