镍钝化多孔硅的水热制备方法

专利类型：发明专利 

语 言：中文 

申 请 号：CN201710696141.5 

申 请 日：20170815 

发 明 人：谢玉婷王梦真黎学明陶志杨文静祝凡 

申 请 人：重庆大学 

申请人地址：400030 重庆市沙坪坝区沙正街174号 

公 开 日：20171212 

公 开 号：CN107459989A 

代 理 人：张群峰;钱扬保 

代理机构：北京迎硕知识产权代理事务所(普通合伙) 11512 

摘　　要：镍钝化多孔硅的水热制备方法,包括：对n型单晶硅片进行组合前处理；提供由氢氟酸、硝酸镍、以及乙醇组成的混合腐蚀溶液；将经过组合前处理后的硅片以及混合腐蚀溶液置于水热反应釜的内衬里进行镍钝化反应而制得多孔硅。本发明所制备的多孔硅的孔结构具有优异稳定性和均匀性。 

主 权 项：一种多孔硅的制备方法,包括：提供n型单晶硅片；在丙酮中浸泡处理硅片,随后用蒸馏水冲洗硅片；在无水乙醇中浸泡处理硅片,随后用蒸馏水冲洗硅片；在10％氢氟酸中浸泡处理硅片,随后用蒸馏水冲洗硅片；在氨水与双氧水的稀释液中浸泡处理硅片,随后用蒸馏水冲洗硅片；在盐酸与双氧水的稀释液中浸泡处理硅片,随后用蒸馏水冲洗硅片；提供由氢氟酸、硝酸镍、以及乙醇组成的混合腐蚀溶液,其中氢氟酸的浓度为13mol/L左右,硝酸镍的浓度为0.05mol/L左右,乙醇的浓度为0.43mol/L左右；将经过上述处理后的硅片置于水热反应釜的内衬里,加入上述混合腐蚀溶液,使得反应釜内部体积填充度为80％左右；密闭反应釜并在130#150℃下钝化反应45#90分钟而制得多孔硅。 

关 键 词： 

法律状态： 

IPC专利分类号：C09K11/59;C09K11/02