NO₂气体传感器及其制备方法、使用方法以及解吸附方法

专利类型：发明专利 

语 言：中文 

申 请 号：CN201710934871.4 

申 请 日：20171010 

发 明 人：周泳任浩朱相宜郭永彩高潮 

申 请 人：重庆大学 

申请人地址：400044 重庆市沙坪坝区沙正街174号 

公 开 日：20180223 

公 开 号：CN107727700A 

代 理 人：黄河 

代理机构：重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 

摘　　要：本发明公开了一种NO₂气体传感器，包括叉指电极，所述叉指电极上喷涂有异质结气敏材料溶液，形成气敏薄膜层；异质结气敏材料溶液为MoS₂/ZnO复合材料溶液；MoS₂与ZnO纳米线在复合溶液中接触形成P?N型异质结。还公开了一种制备方法：首先制备MoS₂/ZnO复合材料溶液，然后将其沉积到叉指电极上。还公开了一种使用方法：先对NO₂气体传感器进行紫外光照射，使其电阻值稳定后，停止照射，然后利用NO₂气体传感器进行检测。还公开了一种解吸附方法：在紫外光照射下，吹送高纯度N₂。本发明的NO₂气体传感器在常温下具有对低浓度NO₂气体的高灵敏度，本发明的使用方法能进一步提高灵敏度，本发明的解吸附方法能实现完全解吸附。 

主 权 项：一种NO₂气体传感器，其特征在于：包括叉指电极，所述叉指电极上通过喷涂异质结气敏材料溶液，经过加热烘干形成气敏薄膜层；所述异质结气敏材料溶液为MoS₂/ZnO复合材料溶液；MoS₂/ZnO复合材料溶液包括浓度为0.1～20mg/ml的少层MoS₂乙醇溶液以及浓度为0.1～20mg/ml的ZnO纳米线乙醇溶液，少层MoS₂与ZnO纳米线在复合溶液中均匀复合，沉积在叉指电极上成膜形成P?N型异质结结构；少层MoS₂乙醇溶液与ZnO纳米线乙醇溶液的体积比为0.1～1。 

关 键 词：气体传感器;灵敏度;公开;解吸附方法;叉指电极;薄膜;ZnO复合材料溶液;结气敏材料溶液;质结气敏材料;异质结气敏;制备方法;形成;检测;接触;停止;电阻;稳定;提高;及其;使用; 

法律状态：公开 

IPC专利分类号：G01N27/12(2006.01)I,B82Y15/00(2011.01)I