专利类型:发明专利
语 言:中文
申 请 号:CN201510175481.4
申 请 日:20150415
申 请 人:重庆大学
申请人地址:400044 重庆市沙坪坝区沙正街174号
公 开 日:20171031
公 开 号:CN104795410B
代 理 人:
代理机构:
摘 要:本发明涉及一种太赫兹传感器,更具体的说,本发明涉及一种基于光波导的石墨烯太赫兹传感器:包括底栅极和低阻硅衬底以及设置于衬底上的下绝缘层、石墨烯纳米带阵列、源漏电极、上绝缘层、顶栅极、光波导结构、入射耦合光栅、出射耦合光栅和驱动电路;利用石墨烯材料具有高载流子迁移率、电子无散射传输、能隙可调的光电特性,采用石墨烯纳米带和p?i?n光电探测结构;利用光波导收集、传输、汇聚光的特性,设计了大面积光波导和石墨烯纳米带阵列的复合结构。本发明太赫兹传感器具有光能利用率高、灵敏度高、响应快、可在室温下工作、结构简单、便于集成、体积小的优点,可广泛应用于安检、缉毒、反恐、医学成像、无损检测、电子对抗、雷达、遥感、外层空间宽带通信等领域。
主 权 项:基于光波导的石墨烯纳米带阵列太赫兹传感器,其特征在于:包括底栅极和低阻硅衬底以及设置于衬底上的下绝缘层、石墨烯纳米带阵列、源漏电极、上绝缘层、顶栅极、光波导结构、入射耦合光栅、出射耦合光栅和驱动电路;所述石墨烯纳米带阵列由多个纳米带间隔排列组成,联通两端的源漏电极,所述顶栅极分为分别靠近源电极和漏电极的两条,所述光波导结构上部的入射耦合光栅布置在电极周围,光波导结构下部的出射耦合光栅布置于石墨烯纳米带阵列之上,所述驱动电路按照事先计算好的电压施加在源漏电极、顶栅极、底栅极上,通过测量源漏间电流变化探测信号。
关 键 词:
法律状态:生效
IPC专利分类号:H01L27/144; H01L31/115; H01L31/028