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三阶非线性光学性碲基复合薄膜及其制备方法

专利类型:发明专利 

语 言:中文 

申 请 号:CN201010162549.2 

申 请 日:20100430 

发 明 人:辜敏李强鲜晓东甘平 

申 请 人:重庆大学 

申请人地址:400044 重庆市沙坪坝区沙正街174号 

公 开 日:20120725 

公 开 号:CN101838112B 

代 理 人:谢殿武 

代理机构:北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 

摘  要:本发明公开了一种三阶非线性光学性碲基复合薄膜及其制备方法,为SiO2颗粒之间嵌有TeO2和/或Te形成的Te/TeO2-SiO2复合薄膜结构,薄膜采用电化学诱导溶胶-凝胶方法制成,复合薄膜结构具有良好的非线特性,三阶非线性光学极化率χ(3)达到10-8esu以上;通过TeO2-SiO2透明复合溶胶采用电化学方法制备Te/TeO2-SiO2复合薄膜,利用电化学诱导从溶胶中析出TeO2和/或Te,与SiO2形成膜,达到形成Te/TeO2-SiO2复合薄膜结构的目的,工艺简单;通过TeO2-SiO2透明复合溶胶-凝胶采用真空镀膜的方法制备Te/TeO2-SiO2复合薄膜,利用热处理的温度控制,调控凝胶粉末中的组成和结构,达到形成Te/TeO2-SiO2复合薄膜结构的目的,工艺简单可靠可靠,膜层厚度均匀。 

主 权 项:一种三阶非线性光学性碲基复合薄膜,其特征在于:为SIO2颗粒之间嵌有TEO2和/或TE形成的TE/TEO2-SIO2复合薄膜结构。 

关 键 词: 

法律状态:生效 

IPC专利分类号:C03C17/22; G02F1/355; G02B1/10