高精度原子力显微镜的镜体

专利类型：实用新型 

语 言：中文 

申 请 号：CN200420060440.8 

申 请 日：20040723 

发 明 人：杨学恒詹捷陈昌杰王银峰陈红兵吴世春费德国杨家楷谢超杨俊林勒平王海朋 

申 请 人：重庆大学 

申请人地址：400044重庆市沙坪坝区沙坪坝正街174号 

公 开 日：20060809 

公 开 号：CN2804851Y 

代 理 人：余虹桥 

代理机构：重庆大学专利中心 

摘　　要：高精度原子力显微镜的镜体涉及纳米检测装置，它主要解决高精度地测量绝缘体表面原子形貌的问题，解决的技术方案是在扫描隧道显微镜镜体的测针与样品台之间加入微悬臂，并由调节机构控制其位移，样品台下加入下压电陶瓷，斜面电动调节机构，以控制样品台水平方向扫描，垂直方向位移，本实用新型的用途是作固体表面的显微分析与纳米加工。 

主 权 项：1、一种高精度原子力显微镜的镜体，包括微悬臂、样品台、扫描隧道显微镜镜体、步进机、变速系统，其特征是在扫描隧道显微镜镜体的测针(4)与样品台(16)之间，水平悬置一微悬臂(7)，其一端固定在绝缘柱(8)上，绝缘柱与支架(9)套筒(23)滑动配合，其另一端的金属丝(7)上，水平固定一面积为1.5×1.5毫米平方的金属片(3)，金属片下有与微悬臂(7)成直角的探针(2)，探针指向样品表面(1)；支架固定在镜体的下底盘上，其上有微悬臂调节机构(21、22、24、25)，可以三维调节微悬臂的位置；在样品台(16)与X向电动平台(13)之间，依次安装下压电陶瓷(15)、垂直向斜面电动调节机构(14)。 

关 键 词： 

法律状态：终止 

IPC专利分类号：G01N13/12(2006.01)