基于MEMS光栅光调制器线阵的红外光谱监测系统
专利类型：发明专利
语 言：中文
申 请 号：CN200910103382.X
申 请 日：20090313
申 请 人：重庆大学
申请人地址：400033重庆市沙坪坝区沙正街174号重庆大学光电工程学院
公 开 日：20090812
公 开 号：CN101504364A
代 理 人：康海燕
代理机构：重庆华科专利事务所
摘 要：一种基于MEMS光栅光调制器线阵的红外光谱监测系统，包括光源、色散元件、光栅光调制器线阵、探测器等。光源发出的光，经过准直系统入射到光栅上；不同波长的光衍射角度不同，各种波长的衍射光经过成像系统后入射到可编程光栅光调制器线阵上，通过施加电压对光栅光调制器线阵进行操作，使其具有对不同波长光的衍射状态进行控制的功能，安置在探测面上的单点探测器即可依次获得各种波长的光强或几种波长光的合成光强，从而实现对被检物质的红外光谱监测。本系统采用了一种新的光路系统，不使用价格昂贵的红外探测阵列，仅需要单点红外探测器，具有价格低廉、体积小、响应速度极快、精度高、功耗低、便携使用等优点。
主 权 项：1、一种基于MEMS光栅光调制器线阵的红外光谱监测系统，其特征在于它包括光源和依次设置在光路上的样品池、狭缝、准直系统、反射光栅、光栅光调制器线阵、成像系统和单点探测器；所述准直系统用于将光准直成平行光；所述反射光栅作为分光元件，将不同波长的光色散开来，使其按不同的衍射角度进行传播；所述成像系统将被色散后的各色光经成像后，平行入射到光栅光调制器线阵上；所述光栅光调制器线阵上的每个像素对应一个特定的波段，各像素对应的零级反射光再次经成像系统后入射到反射光栅上，实现对不同波长光路的选择及多波长光的合成；所述单点探测器用于获得各种波长的光强，从单点探测器的随时间变化的光强就可获得物质的红外光谱信息。
关 键 词：
法律状态：撤回
IPC专利分类号：G01N21/35(2006.01)I;G01J3/32(2006.01)I