一种精密转台跳动检测装置及检测方法

专利类型：发明专利

语言：中文

申请号：CN201710084427.8

申请日：20170216

发明人：王福全王珏陈刚

申请人：重庆大学重庆真测科技股份有限公司

申请人地址：400044重庆市沙坪坝区沙坪坝正街174号

公开日：20170524

公开号：CN106705852A

代理人：赵荣之

代理机构：北京同恒源知识产权代理有限公司11275

摘　　要：本发明提出一种精密转台跳动检测装置及检测方法，属于光学检测技术领域，以实现精密转台轴向、径向跳动量检测。本检测装置利用平行光管、聚焦透镜、五棱镜和高精度标准球体检测精密转台旋转过程的跳动量。由平行光管发射出的平行光束经聚焦透镜聚焦，焦点照射到标准球体表面上，聚焦光束经过标准球体反射，再经过聚焦透镜后到平行光管，并照射到平行光管内的探测器上，根据反射光线的中心线与入射光线的中心线之间的位置变化差来测量精密转台的跳动量。本检测方法无接触、精度高、简单易行，可实现精密转台轴向和径向两个方向的跳动量检测，满足精密转台微小跳动量的检测需求，同时可用于其他轴类跳动量的检测。??全部

主权项：

关键词：

法律状态：

IPC专利分类号：G01B11/00(2006.01)I