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集成差分式角传感器的扫描微镜
申请号：CN201810403477.2
申请日：20180428
申请人：重庆大学
浏览量：0
摘要：
本发明公开了一种集成差分式角传感器的电磁驱动式扫描微镜,包括集成了电磁驱动器与角传感器的芯片和紧贴在其上面的硅基MEMS反射镜面。所述芯片由中心镜板、扭转梁和支撑框架构成。为了克服传统硅基MEMS扫描微镜镜面尺寸小和低频...
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