检索结果分析
- 一种硅基MEMS闪耀光栅的制备方法
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申请号：CN201910357433.5
申请日：20190429
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明涉及一种硅基MEMS闪耀光栅的制备方法,属于半导体加工技术领域,基于单晶硅的各向异性湿法腐蚀特性,通过将N型(111)硅片按特定切偏角(即闪耀角)进行切割,采用两次光刻腐蚀的方法,利用硅的慢腐蚀面(111)面相交形...
- 一种压电非均匀折叠梁驱动的MOEMS扫描光栅微镜
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申请号：CN201810616840.9
申请日：20180615
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：一种压电非均匀折叠梁驱动的MOEMS扫描光栅微镜,由光栅、微镜、扭转梁、压电非均匀折叠梁微驱动器、角传感器和固定框架组成。微镜通过扭转梁悬置于固定框架上使其绕扭转梁转动而限制其他方向的平动,并结合在微镜背部掏蚀凹槽,提高...
- 集成差分式角传感器的扫描微镜
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申请号：CN201810403477.2
申请日：20180428
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开了一种集成差分式角传感器的电磁驱动式扫描微镜,包括集成了电磁驱动器与角传感器的芯片和紧贴在其上面的硅基MEMS反射镜面。所述芯片由中心镜板、扭转梁和支撑框架构成。为了克服传统硅基MEMS扫描微镜镜面尺寸小和低频...
- 压电式集成MOEMS扫描光栅微镜
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申请号：CN201710687362.6
申请日：20170811
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开一种压电式集成MOEMS扫描光栅微镜，涉及光谱分析和微光机电系统领域，由集成扫描光栅微镜、扭转梁、连接梁、角传感器、压电微驱动器和固定框架组成。所提出的集成扫描光栅微镜是基于偏晶向(111)硅基，在正面集成了闪...