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已选条件:
  • 发明人=陈默x
排序:
一种用于简单光刻及软光刻的小型恒温自控实验台

申请号:CN200810069250.5

申请日:20080116

申请人:重庆大学

浏览量:0
摘要:本发明提供一种用于简单光刻及软光刻的小型恒温自控实验台。该实验台由一个梯形密闭箱,一个单片机控制器,一台真空泵组成。密闭箱体是由不锈钢板组成,前斜面是无色透明有机玻璃面板,面板上方为不透明盖板,在光刻实验时可以盖上,以避...
一种用于简单光刻及软光刻的小型恒温自控实验台

申请号:CN200810069250.5

申请日:20080116

申请人:重庆大学

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摘要:本发明提供一种用于简单光刻及软光刻的小型恒温自控实验台。该实验台由一个梯形密闭箱,一个单片机控制器,一台真空泵组成。密闭箱体是由不锈钢板组成,前斜面是无色透明有机玻璃面板,面板上方为不透明盖板,在光刻实验时可以盖上,以避...
一种用于简单光刻及软光刻的小型恒温自控实验台

申请号:CN200810069250.5

申请日:20080116

申请人:重庆大学

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摘要:本发明提供一种用于简单光刻及软光刻的小型恒温自控实验台。该实验台由一个梯形密闭箱,一个单片机控制器,一台真空泵组成。密闭箱体是由不锈钢板组成,前斜面是无色透明有机玻璃面板,面板上方为不透明盖板,在光刻实验时可以盖上,以避...
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