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高精度原子力显微镜的镜体
申请号：CN200420060440.8
申请日：20040723
申请人：重庆大学
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摘要：
高精度原子力显微镜的镜体涉及纳米检测装置，它主要解决高精度地测量绝缘体表面原子形貌的问题，解决的技术方案是在扫描隧道显微镜镜体的测针与样品台之间加入微悬臂，并由调节机构控制其位移，样品台下加入下压电陶瓷，斜面电动调节机构...
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