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一种具有部分复合埋层的SOI耐压结构
申请号：CN201510076359.1
申请日：20150212
申请人：重庆大学
浏览量：0
摘要：
本发明公开了一种具有部分复合埋层的SOI耐压结构，包括P/N衬底1、设置在P/N衬底上的部分复合埋氧层4和设置在部分复合埋氧层上的有源顶硅层2，所述部分复合埋氧层4包括并列设置的埋氧层3和复合埋层，所述复合埋层包括设置在...
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