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一种长焦深超分辨直写光刻的光生成器件
申请号：CN201911128988.9
申请日：20191118
申请人：重庆大学
浏览量：0
摘要：
本发明公开了一种长焦深超分辨直写光刻的光生成器件,它由上至下依次布设透明基底层(1)、纳米光栅结构的光栅掩模层(2)、平坦化膜层(3)和ENZ超材料多层膜(4)。本发明的技术效果是：将高空间频率的倏逝波传输到感光层,形成...
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