检索结果分析
- 集成角度传感器的高衍射效率MEMS扫描光栅
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申请号：CN201510805579.3
申请日：20151120
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明提出一种集成角度传感器的高衍射效率MEMS扫描光栅。它由光栅面、电磁驱动线圈、电磁传感线圈、扭转梁和支撑框架组成。所述光栅面、电磁驱动线圈、电磁传感线圈、扭转梁和支撑框架均制作在同一片偏晶向的(111)硅基底上。光...
- 一种MEMS扫描微镜光谱仪工作电路
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申请号：CN201210079028.X
申请日：20120323
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公布一种MEMS（微电子机械系统）扫描微镜光谱仪工作电路。它主要由振荡信号模块，MEMS微镜驱动控制模块，光谱数据采集模块三个模块组成，其中，光谱数据采集模块由前置放大电路、AD转换电路、FIFO存储器、FPGA（...