检索结果分析
- 一种MEMS电涡流加速度计及制备方法
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申请号：CN201510575307.9
申请日：20150910
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开了一种MEMS电涡流加速度计，包括金属基底、金属结构、电极和电感线圈；所述金属结构包括质量块和矩形的支撑框架，所述支撑框架设置于金属基底上，所述质量块位于支撑框架内，所述质量块的左、右两侧各设置一个弹性梁与支撑...
- 一种隧道式MEMS陀螺仪
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申请号：CN201410177247.0
申请日：20140429
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开了一种隧道式MEMS陀螺仪，属于微机电系统技术领域。本发明提供的隧道式MEMS陀螺仪包括一块正16边形的薄板作为敏感质量键合在玻璃衬底上，正16边型的每一条边对应1个电极，16个电极分为4组，分别作为驱动电极、...
- 一种隧道式MEMS陀螺仪
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申请号：CN201410177247.0
申请日：20140429
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开了一种隧道式MEMS陀螺仪，属于微机电系统技术领域。本发明提供的隧道式MEMS陀螺仪包括一块正16边形的薄板作为敏感质量键合在玻璃衬底上，正16边型的每一条边对应1个电极，16个电极分为4组，分别作为驱动电极、...