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发明人=潘红芝

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一种采用阵列孔引出电极的高温声表面波器件芯片

申请号：CN201921045150.9

申请日：20190705

申请人：重庆大学

浏览量：0

摘要：本实用新型涉及一种采用阵列孔引出电极的高温声表面波器件芯片及其制作方法,通过在底电极与顶部金属之间设置通道Ⅰ、上电极与顶部金属之间设置通道Ⅱ,利用阵列孔的数量优势将风险分摊,大大提高了器件芯片的电气可靠性；此外,阵列孔采...

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