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  • 发明人=林鹏x
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集成真空微电子触觉传感器阵列

申请号:CN99124606.3

申请日:19991118

申请人:重庆大学

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摘要:集成真空微电子触觉传感器阵列,由真空微电子触觉敏感元二维阵列、信号处理电路两大部分组成。其中,构成触觉敏感元二维阵列的触觉敏感元由硅微场致发射阴极锥尖阵列、真空微腔、绝缘层、阳极弹性膜组成;信号处理电路由水平方向扫描电路...
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