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  • 发明人=林男x
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一种获得均匀组织和织构的溅射靶材用钽板轧制方法

申请号:CN201810205349.7

申请日:20180313

申请人:重庆大学

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摘要:本发明公开一种获得均匀组织和织构的溅射靶材用钽板轧制方法,按以下步骤进行:对钽板采用多道次异步轧制,每道次完成后,将钽板相对于其进给方向水平旋转90°,并将钽板的两个轧制面互换,整个轧制过程中钽板的水平旋转方向一致。通过...
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