检索结果分析
- 一种MEMS电涡流加速度计及制备方法
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申请号：CN201510575307.9
申请日：20150910
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开了一种MEMS电涡流加速度计，包括金属基底、金属结构、电极和电感线圈；所述金属结构包括质量块和矩形的支撑框架，所述支撑框架设置于金属基底上，所述质量块位于支撑框架内，所述质量块的左、右两侧各设置一个弹性梁与支撑...
- 具有缓冲结构的扭摆式差分电容加速度计及制备方法
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申请号：CN201510413250.2
申请日：20150714
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开了一种具有缓冲结构的扭摆式差分电容加速度计，包括玻璃衬底、硅结构和电极，硅结构包括质量块、矩形的内支撑框架、缓冲折叠梁和矩形的外支撑框架，质量块与内支撑框架之间留有活动间隙，并通过两个弹性梁连接，内支撑框架与外...
- 具有缓冲结构的扭摆式差分电容加速度计及制备方法
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申请号：CN201510413250.2
申请日：20150714
申请人：重庆大学
浏览量：0 - 摘要：本发明公开了一种具有缓冲结构的扭摆式差分电容加速度计，包括玻璃衬底、硅结构和电极，硅结构包括质量块、矩形的内支撑框架、缓冲折叠梁和矩形的外支撑框架，质量块与内支撑框架之间留有活动间隙，并通过两个弹性梁连接，内支撑框架与外...